流量计的接液部和连接由PFA组成，使用PTFE包装，具有卓越的耐火性能，是一种拥有量计，可以精确控制流量的半导体流量计。
-没有粒子发生和离子污染
-用于PFA tube连接的连接结构
-测量Gas、DI water、chemical等的流量
-紧凑的大小
-进行电器的可靠性测试
-安装用于调节流量的近电压
-制作订购者规格的流量测量范围。
-用DI water进行超声波清洗，并在clean room进行真空包装。
-在洁净室组装
-半导体spin etching设备的拥有量化学、DI water测量和控制
-用于Wet process的半导体设备
-使用高纯化学和二水的仪器流量测量
-测量高纯度流体流量，如小型研究所
-微生物、化学、医学等高纯度流体使用领域
-应用流体:气体、液体(viscosity 5.0 cP)
-测量流量:
Water – Min 20 CCM / Max 2 LPM
Gas – Min 500 CCM / Max 50 LPM
-测量误差:3%全比例
-使用压力:Max 3 bar
-使用温度:Max 50 ℃
