FW-1200采用SUS316材质作为 wetted parts（接触液体部分），适用于测量部分化学品和超纯水。紧凑的尺寸可实现最高5升/分钟（水基准）的流量测量。支持多种连接方式，包括PT、VCR和Lok接头，专为半导体设备中的水和气体应用设计。适用于溶剂、去离子水和气体。同时配备光电和磁性传感器报警，确保监测可靠。
产品介绍：
适用于半导体设备的去离子水（DI Water）、气体（Gas）及化学品（Chemical）管路
最高可测量流量达5升/分钟（水基准）
100%逐台流量校准
配备针阀用于流量控制
配备流量监测报警输出
可根据客户要求定制接口连接
可根据客户要求定制流量范围
采用去离子水超声波清洗并进行真空包装
在100级无尘室中组装
技术参数：
适用流体:气体、液体（粘度低于5.0厘泊）
流量范围:水：最小500毫升/分钟，最大5升/分钟
气体：最小20升/分钟，最大100升/分分钟精度:满量程±3%
最大工作压力: 10 Bar
爆破压力: 58 Bar
工作温度范围: 0 ~ 90 ℃
应用：
适用于半导体设备的去离子水（DI Water）、气体（Gas）及化学品（Chemical）管路
配备针阀，实现微量流量精确控制
用于公用设施及小型实验室的流量测量
适用于各类设备采样管线的流量测量与控制
应用于微生物学、化学及医药等高纯度流体领域
