韩国Wooil Flucon 气动隔膜阀 FVAT1020

气动隔膜阀 FVAT1020

产品特点

• 紧凑型二通隔膜阀

• 尺寸：1/4’’、3/8’’

• 适用于半导体及 LCD 湿制程设备

• 用于涂布机或显影机的微量流量控制

• 用于湿旋涂工艺设备的微量流量控制

• 小容量化学品供给单元

• 微生物、生化及医疗领域

• 本阀为 1/4’’、3/8’’ 小型隔膜阀，耐用性优良，已通过 100 万次循环测试

• 接液部件采用耐腐蚀材料 TEFLON，适合去离子水及化学品工艺管路

技术特点

• 接液部件可选用 PFA、PTFE 或 PVC

• PTFE 隔膜经过超过 100 万次循环测试

• 连接尺寸：1/4’’ (6mm)、3/8’’ (6mm)

• 连接方式：套管插入管、喇叭口、PT 母口

• 气动驱动类型：常闭、常开、双作用

• 配有动作指示器，便于确认阀门动作，并可进行流量调节

• 无颗粒、无离子污染

• 采用去脂、去离子水超声波清洗并真空包装

• 大孔径结构，流体流动顺畅，压损小

 应用领域

• 半导体湿制程设备

• 涂布机/显影机的微量流量控制

• 湿旋涂工艺设备的微量流量控制

• 小容量化学品供给单元

• 微生物、生化及医疗行业

FVAT1020 TVV-C2Z-1-K-3-STBT

技术参数