韩国Wooil Flucon中流量不锈钢流量计FW1520半导体设备用流体测量

韩国Wooil Flucon中流量不锈钢流量计FW1520半导体设备用流体测量

产品FW 1520
产品类型中流量不锈钢流量计

接液部件和主体由聚四氟乙烯或 PVC 制成,锥管为硼硅酸盐玻璃结构。用于去离子水气体和化学过程的最佳中型流量计

韩国Wooil Flucon中流量不锈钢流量计FW1520半导体设备用流体测量特征:
– 抛光处理的成品不锈钢阀体
中流速可用 20 升/分钟
– 内置控制阀
– 硼硅酸盐玻璃具有很强的耐化学性和抗冲击性
– 流量传感器警报
– 可在面板上安装正面和背面
– 可根据要求提供宽流量范围
– 在洁净室中清洁超声波去离子水和真空包装
– 在 100 级洁净室中组装

应用:
半导体设备用去离子水、气体、化学品供应管线 – 内置控制阀,针阀易于测量和控制
– 小型实验室的公用设施流量测量
– 气体净化器、气体洗涤器等高纯度和腐蚀性液体设备
– 使用高纯度流体的微生物学、化学和医学领域

韩国Wooil Flucon中流量不锈钢流量计FW1520半导体设备用流体测量规格:
– 流体 : 气体、液体(粘度<5.0cP)
– 范围 :
水 – 最小 5LPM/ 最大 20LPM
气体 – 最小 50LPM/ 最大 600LPM
– 精度 : ±3% 满量程
– 最大作压力 : 10 Bar
– 爆破压力 : 25 Bar
-作温度 : 0 ~ 90°C

关键词:水流量计气体流量计液体流量计腐蚀性液体流量计化学品流量计超纯水流量计酸碱液体流量计氮气流量计空气流量计蒸汽流量计药液流量计氧气流量计柴油流量计半导体流量计化工流量计医药流量计、生物制药流量计、实验室流量计、食品级流量计、环保设备流量计、精密仪器流量计、自动化设备流量监控仪、制程设备流量控制器、


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