代理韩国WooilFlucon FW1710 超小型流量计、吹扫流量计、特氟龙流量计，内置流量调节阀，适合半导体及其他需要高纯度化学品的应用

FW1710 系列流量计的 接液部件及连接件均采用 PFA 材质，并配有 内置流量调节阀。同时，使用 PTFE 填料，具备出色的耐化学性能。这款超小型流量计能够实现精确、便捷的流量控制，非常适合半导体及其他需要高纯度化学品的应用场景。

产品特点

• 无颗粒产生，无离子污染

• PFA 管连接结构，具备优异耐腐蚀性

• 支持 气体、超纯水（DI water）、化学品 的流量测量

• 紧凑型设计，节省安装空间

• 每一台产品均经过严格可靠性测试

• 内置 针型调节阀，可进行精密流量控制

• 可根据客户需求提供 定制流量范围

• 采用 超纯水（DI water）超声波清洗，并在 洁净室内真空包装

• Class 100 洁净室环境下组装，保证高洁净度

应用领域

• 半导体 旋涂/蚀刻设备中的少量化学品或 DI water 的测量与控制

• 半导体湿法工艺设备

• 高纯化学品和超纯水的流量测量

• 小型实验室对高纯液体的精密流量控制

• 微生物学、化学、医学等领域中涉及高纯流体的应用

技术参数

• 适用介质：气体、液体（粘度 < 5.0 cP）

• 测量范围：

  • 水：最小 20 CCM / 最大 2 LPM

  • 气体：最小 500 CCM / 最大 50 LPM

• 测量精度：满量程 ±3%

• 工作压力：最大 3 bar

• 工作温度：最大 50 ℃

FW1710 超小型流量计订货信息

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