韩国Wooil Flucon FW 1510 流量计 特氟龙（PFA/PTFE）接液结构，适合高度腐蚀性介质

FW 1510

• 材质： 特氟龙（PFA/PTFE）接液结构，适合高度腐蚀性介质；

• 低流量范围设计： 精确测量性能，适用于半导体制造、化学微量输送等敏感环境

• 中等流量范围：3~10 LPM

• 内置控制阀

• 强耐化学腐蚀性能

• 流量液位传感器报警功能

• 支持面板正面和反面安装

• 可根据要求提供广泛流量范围

• 在洁净室中使用超声波纯水清洗并真空包装

• 在100级洁净室中组装

• 介质：气体、液体（粘度小于5.0cP）

• 流量范围：

  • 水：最小 3 LPM / 最大 10 LPM

  • 气体：最小 50 LPM / 最大 200 LPM

• 精度：±3% 满量程

• 最大工作压力：10 bar

• 爆破压力：25 bar

• 工作温度：0 ~ 50（最高可达90）℃

应用：

• 半导体湿法工艺中化学品供给管路的超纯水（DI水）应用

• 通过内置控制阀实现精确控制

• 接液部件材料多样，适用于各种气体和液体

Wooil Flucon FW-1200 吹扫流量计 适用于半导体设备的去离子水、气体及化学品管路