FW6600流量调节数字式气体流量计、wooil flucon数字式气体流量计、MEMS传感器流量计

FW6600流量调节数字式气体流量计

产品说明

采用MEMS传感器的流量测量方式

产品特点

• 适用于 Air、N₂、O₂、Ar、CO₂ 等气体

• 内置阀门

• 配备流量调节用针阀

• 支持流量水平监控的报警输出

• 可定制用户指定流量测量范围

• 电源：3.6 ~ 24V DC（50mA）

应用领域

• 半导体设备及研究设备的气体管路

• 通过自带针阀实现流量精密控制

• 小型实验室等的公用流量测量

• 各类检测设备的采样管路流量测量与控制

• 微生物、化学、医药等高纯度流体应用领域

技术规格

• 适用气体：Air、N₂、O₂、Ar、CO₂

• 总流量范围：

  • Air、N₂、O₂、Ar：1、2、5、10、20、50、70 SLPM

  • CO₂：1、2、5、10、20、40 SLPM

• 精度：±2.0% F.S

• 重复性：0.5% F.S

• 工作温度：-10 ~ +55℃

• 最大压力：1.0 MPa

• 电源：3.6 ~ 24V DC（50mA），锂离子电池 ER14250

• 数字输出：RS485 Modbus 半双工

FW4600流量调节数字式气体流量计

产品说明

采用MEMS技术的微量流量调节气体流量计

• 阀门类型：接触流体部分采用SUS 316不锈钢，外壳经阳极氧化铝处理，外观精致，专为微小流量设计

• 适用于Air（空气）、N₂（氮气）、O₂（氧气）、Ar（氩气）、He（氦气）、CO₂（二氧化碳）等气体的精密流量控制

产品特点

• 100% 一对一流量校准

• 配备精密针阀，实现流量调节

• 支持流量水平监控报警输出

• 可定制用户指定流量测量范围

应用领域

• 半导体设备及研究设备的气体管路

• 通过内置针阀实现高精度流量控制

• 小型实验室的公用气体流量测量

• 各类检测设备的采样管路流量测量与控制

• 微生物、化学、医药等高纯度流体应用领域

技术规格