FW1710特氟龙流量计 (PFA)
接触液体部分和连接部件采用PFA材质，FW1710系列流量计配备一体式流量调节阀。这种超轻量单元具有精确且易于控制的流量调节功能，并采用PTFE填料提供卓越的耐化学性。
流量计的接触液体部分及连接部件均为PFA材质，并使用PTFE填料，具有出色的耐化学性，是一款可用于精密流量控制的半导体流量计。
特点 – 无颗粒、无离子污染
PFA管连接结构
流量测量：气体、去离子水、化学品
紧凑尺寸
所有产品均经过可靠性测试
内置控制阀
可根据需求提供广泛的测量范围
在洁净室中使用去离子水进行超声波清洗并真空包装
在100级洁净室中组装
应用 – 用于半导体旋刻蚀设备的微量化学品及去离子水的测量与控制
湿法工艺半导体设备
高纯度化学品及去离子水的测量
小型实验室的高纯度液体流量测量
微生物、化学、医药等领域的高纯度流体应用
规格 – 流体类型：气体、液体（粘度<5.0cP）
测量范围：
水 – 最小20 CCM / 最大2 LPM
气体 – 最小500 CCM / 最大50 LPM精度：±3%满量程
工作压力：最大3 bar
工作温度：最大50 ℃
产品名称
产品说明
FW2510型是一款结构简单、经济实惠的中等流量测量流量计。接触液体部分采用316不锈钢和硼硅玻璃管制成。
该流量计采用简单结构设计，具有高性价比，接触液体部分使用SUS316材质，流量管采用硼硅玻璃，适用于中等流量测量。支持多种连接方向选择，可在不同角度进行管道安装。
特点
不锈钢外壳，经过抛光处理
适用于气体、化学品、工艺冷却水（PCW）
硼硅玻璃具有优异的耐化学性
带流量水平传感器报警功能
多种连接方向，支持直通式管道系统
可根据需求提供广泛的测量范围
在洁净室中使用去离子水进行超声波清洗并真空包装
在100级洁净室中组装
应用
半导体、LCD设备的气体及化学品供应管线
高压工艺冷却水（PCW）管线
低成本设备需求
适用于不同角度的管道系统流量测量
规格
流体类型：气体、液体（粘度 < 5.0cP）
测量范围：
水：最小 3 LPM / 最大 20 LPM
气体：最小 50 LPM / 最大 600 LPM
精度：±3% 满量程
最大工作压力：10 bar (1.0MPa)
爆破压力：87 bar
工作温度：最高 90℃
