FW1540特氟龙流量计、wooil flucon全特氟龙流量计、FW1545特氟龙流量计

FW1540特氟龙流量计(PFA材质)
全特氟龙流量计,采用PFA接液部件和PFA锥形管设计,适用于高腐蚀性化学工艺流程。

该全PFA材质流量计由PFA接液部件和PFA锥形管构成,具有卓越的耐化学腐蚀性能,可适用于各类化学品,是耐腐蚀要求严格设备的理想选择。

产品特点 – 无颗粒析出,杜绝金属污染
– 适用于各类化学品的流量测量与控制
– 可提供PFA涂层防腐处理(按需)
– 测量范围:3-50升/分钟(水基准)
– 进出口配备调节针阀
– 流量水平传感器报警功能
– 经超声波去离子水清洗并在洁净室真空包装
– 100级洁净室组装

        - 无颗粒产生和金属污染
        - 外部构件采用全PFA涂层防腐蚀
        - 支持面板安装
        - 提供流量水平监控报警输出
        - 采用去离子水超声波清洗及洁净室真空包装

应用领域 – 半导体湿法工艺中的化学品供给
– 高纯度化学品流量测量

        - 半导体湿法工艺设备的化学品供应管线
        - 高纯化学品的流量测量

技术参数 – 流体类型:液体(粘度<5.0厘泊)
– 量程范围:水-最小3升/分钟,最大50升/分钟
– 测量精度:±3%满量程
– 工作压力:3巴

        - 适用流体:液体(粘度5.0厘泊)
        - 使用压力:3巴

FW1545特氟龙流量计(PFA材质)
产品描述

全特氟龙流量计,采用PFA接液部件和PFA锥形管设计,适用于高腐蚀性化学工艺流程。

该全PFA材质流量计由PFA接液部件和PFA锥形管构成,具有卓越的耐化学腐蚀性能,可适用于各类化学品,是耐腐蚀要求严格设备的理想选择。


产品特点

  • 无颗粒析出,无离子污染

  • 适用于各类化学品的流量测量与控制

  • 可提供PFA涂层防腐处理(按需)

  • 测量范围:10~100升/分钟(水基准)

  • 进出口配备调节针阀

  • 支持面板安装

  • 流量水平传感器报警功能

  • 经超声波去离子水清洗并在洁净室真空包装

  • 100级洁净室组装

  • 无颗粒产生和离子污染

  • 外部构件采用全特氟龙涂层防腐蚀

  • 采用去离子水超声波清洗及洁净室真空包装


应用领域

  • 半导体湿法工艺中的化学品供给

  • 高纯度化学品流量测量

  • 内置控制阀实现精确流量调节

  • 无法使用玻璃流量计的化学品测量

  • 半导体湿法工艺设备的化学品供应管线

  • 高纯化学品的流量测量

  • 自带针阀,实现流量精准控制

  • 适用于化学品供应设备


技术参数

  • 流体类型:液体(粘度 < 5.0厘泊)

  • 量程范围:水 – 最小50升/分钟,最大100升/分钟

  • 测量精度:±3%满量程

  • 工作压力:最大3 bar

  • 工作温度:最高70℃

  • 适用流体:液体(粘度5.0厘泊)

  • 使用压力:最大3 bar

  • 使用温度:最高70℃


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