产品说明
FW 1100 系列是专为小流量测量设计的标准型流量计。接触液体部件采用316不锈钢材质,外壳经阳极氧化铝处理,适用于去离子水(DI Water)、腐蚀性气体及化学品。
FW 1100 系列是用于微小流量测量的标准流量计。
接触液体部分采用 SUS316 不锈钢,外观经铝合金阳极氧化处理,结构精密,适用于各类腐蚀性气体、化学品及去离子水,并提供三种型号可选。
产品特点
三种型号:1110、1120、1130
适用介质:去离子水、气体、化学品
微小流量测量(最低 20cc/min)
直接读取流量刻度
内置控制阀
流量水平传感器报警功能
多种流量范围可选,满足不同需求
去离子水超声波清洗 & 真空包装
100 级洁净室组装
三种型号:1110、1120、1130
兼容:去离子水、气体、化学品
水介质测量范围:20cc/min(最小)
100% 一对一流量校准
配备流量调节针阀
支持客户定制接口规格
可定制流量测量范围
去离子水超声波清洗 & 真空包装
100 级洁净室组装
应用领域
半导体设备的去离子水、气体及化学品管路
内置控制阀,便于流量调节
小型实验室的公用设施流量测量
设备采样管路的流量测量与控制
微生物、化学、医药等高纯度流体应用
半导体设备的去离子水、气体、化学品供应管路
内置针阀,实现流量精密控制
小型实验室的公用流量测量
检测设备采样管路的流量测控
微生物、化学、医药等高纯度流体应用
技术参数
适用介质:气体 / 液体(粘度 <5.0cP)
测量范围:
水:20CCM(最小)~ 2LPM(最大)
气体:0.5LPM(最小)~ 50LPM(最大)
精度:±3% 满量程
最大工作压力:10 Bar
爆破压力:58 Bar
工作温度:0 ~ 90℃
适用介质:气体 / 液体(粘度 <5.0cP)
测量范围:
水:20CCM(最小)~ 2LPM(最大)
气体:0.5LPM(最小)~ 70LPM(最大)
测量误差:±3% 满量程
最高使用压力:10 Bar(1.0MPa)
爆破压力:58 Bar
使用温度:0 ~ 90℃
产品名称
产品说明
FW 1100系列是专为小流量测量设计的标准型流量计。其接触液体部件采用316不锈钢材质,外壳经阳极氧化铝处理,适用于去离子水(DI Water)及各类腐蚀性气体和化学品。
FW 1100系列作为微小流量测量的标准解决方案,其接触液体部分采用SUS316不锈钢,外部为阳极氧化铝材质,结构精密。该系列产品适用于腐蚀性气体、化学品及去离子水的测量,共提供三种型号选择。
产品特点
三种型号可选:1110、1120、1130
广泛介质适应性:去离子水/气体/化学品
微小流量测量能力:最低20cc/min
直观的直读式流量刻度
集成控制阀门
流量水平监测报警功能
多样化量程选择,满足各类需求
洁净生产工艺:去离子水超声波清洗+真空包装
100级洁净室组装
三款机型配置:1110/1120/1130
兼容介质:去离子水/气体/化学品
水介质测量下限:20cc/min
每台设备单独校准,确保精度
标配精密针阀用于流量调节
可输出流量水平报警信号
支持客户定制接口规格
提供个性化量程定制服务
洁净包装工艺:DI水清洗+真空封装
100级无尘车间装配
应用领域
半导体制造设备的去离子水/气体/化学品管路系统
集成控制阀的流量调节方案
小型实验室公用设施流量监测
设备采样管路的流量测控系统
高纯度流体应用:微生物/化学/医药领域
半导体行业:DI水/工艺气体/化学品输送系统
精密流量控制:内置调节针阀
科研实验室的公用工程流量测量
分析设备采样管路流量管理
生物制药等高纯流体应用场景
技术参数
项目 | 规格 |
---|---|
适用介质 | 气体/液体(粘度<5.0cP) |
量程范围 | 水:20CCM-2LPM 气体:0.5LPM-100LPM |
测量精度 | ±3%满量程 |
最大工作压力 | 10Bar |
耐爆破压力 | 58Bar |
工作温度 | 0-90℃ |