FW1200小流量不锈钢流量计
FW-1200采用SUS316接触液体部件，适用于部分化学品和超纯水测量。紧凑型设计可实现水介质最高5L/min的流量测量。提供PT、VCR和Lok接头等多种连接方式，适用于半导体设备的水/气体输送，兼容溶剂、去离子水及气体介质。可选光电传感器或磁感应报警功能。
特点 – 适用于半导体行业的去离子水/气体/化学品输送
– 兼容去离子水/气体/化学品介质
– 水介质最大测量值5L/min
– 每台设备单独进行100%流量校准
– 配备流量调节针阀
– 可输出流量监控报警信号
– 支持定制化连接方案
– 支持定制流量量程
– 经去离子水超声波清洗及真空包装
– 100级洁净室组装
应用领域 – 半导体设备去离子水/气体/化学品管路
– 通过内置针阀实现微量调节
– 实验室等小型设施的公用工程流量测量
– 设备采样管路的流量测控
– 微生物/化学/医药等高纯度流体应用场景
技术参数 – 介质类型：气体/液体（粘度<5.0cP）
– 量程范围：
水介质：最小500CCM/最大5LPM
气体介质：最小20LPM/最大100LPM
– 精度：±3%满量程
– 最大工作压力：10Bar
– 爆破压力：58Bar
– 工作温度：0~90℃
FW1510特氟龙材质液体/气体小流量计
产品说明 采用PFA/PVC材质接触部件与壳体，锥形管采用硼硅酸盐玻璃制造。专为去离子水、气体及化学工艺流程设计的中等流量测量解决方案。
特点 – 中等流量测量范围：3~10LPM（水介质）
– 内置调节阀
– 卓越的耐化学腐蚀性能
– 流量位面传感器报警功能
– 支持面板正反双面安装
– 可定制宽量程版本
– 经去离子水超声波清洗及100级洁净室真空包装
– 100级洁净室组装
应用领域 – 半导体湿法工艺的去离子水/化学品供应管线
– 通过内置调节阀实现精确流量控制
– 接触部件支持多种材质配置，气液双用设计
技术参数 – 介质类型：气体/液体（粘度<5.0cP）
– 量程范围：
水介质：3~10LPM
气体介质：50~200LPM
– 精度：±3%满量程
– 最大工作压力：10Bar
– 爆破压力：25Bar
– 工作温度：0~50℃（可选90℃版本）
