韩国Wooil Flucon,超声波流量计,FW1510,低流量特氟龙流量计
湿部件和流量计主体由PFA或PVC制成，锥形管采用硼硅酸盐玻璃构造。是去离子水、气体和化学工艺中的最佳中型流量计
中流量范围可达3~10 LPM
- 内置控制阀：便于流量的调节与控制。
- 强化学耐腐蚀性：材质选择确保了流量计能抵抗多种化学物质的侵蚀。
- 流量液位传感器报警：当流量达到预设阈值时，会自动触发报警。
- 面板安装灵活：支持正面和反面安装，满足多样化的安装需求。
- 宽流量范围可选：可根据客户需求提供不同流量范围的流量计。
- 清洁室超声波去离子水清洗及真空包装：在清洁室内进行专业清洗和包装，确保产品洁净度。
- 在100级清洁室内组装：在严格控制的无尘环境中组装，保证产品质量。
半导体湿法工艺中化学供给线的去离子水
- 通过内置控制阀实现精确控制：内置的控制阀能够精确地调节和控制流体的流量，确保半导体湿法工艺中的化学供给线稳定、准确地提供所需的去离子水。
- 湿部件采用多种材质以适应不同类型的气体和液体：根据所处理的气体或液体的性质，湿部件（即与流体直接接触的部件）可以采用不同的材质制成，以确保流量计在各种化学环境下的稳定性和耐用性。这种设计使得该流量计能够广泛应用于半导体湿法工艺中的各种化学供给线，满足多样化的流体测量需求。
流体：气体、液体（粘度<5.0cP）
测量范围：
- 水：最小3LPM（升每分钟）/最大10LPM
- 气体：最小50LPM（升每分钟）/最大200LPM
准确度：±3%满量程
最大工作压力：10巴
爆破压力：25巴
工作温度：0℃ ~ 50℃（短期可达90℃）
