WaferPro 10-50um超薄硅片晶圆

WaferPro 10-50um超薄硅片晶圆

超薄硅片
我们的超薄片厚度为 10-50 微米。这些精致而灵活的晶圆支持微机电系统(MEMS)、高级 CMOS 逻辑等领域的创新新器件和组件。

硅片的主要应用

集成电路(IC)
硅是制造微处理器、存储芯片、微控制器和其他集成电路的基础。

传感器
硅 MEMS 技术允许制造加速度计、陀螺仪、压力传感器、化学传感器

光子学
硅可用于某些光子/光学元件,如调制器、光电探测器和硅光子芯片。

电力电子
特种硅晶片支持制造电动汽车传动系统中常见的高压、高频电力电子设备

分立半导体
硅衬底用于生产分立二极管、晶体管、晶闸管和整流器。

模拟电路
许多用于电源管理的线性/模拟 IC、放大器、数据转换器都构建在硅晶片上。

微流体
硅微加工技术为芯片实验室诊断设备塑造通道、泵和阀门。

光电子学
光学传感器和 LED 和激光器等光源组件依赖于硅材料和器件制造。

光伏
晶体硅片广泛用于制造用于可再生能源发电的太阳能电池/电池板。

直径2 英寸(50.8 毫米)3 英寸(76.2 毫米)4 英寸(100 毫米)5 英寸(125 毫米)6 英寸(150 毫米)8 英寸(200 毫米)12 英寸(300 毫米)
类型P、N、内在函数
掺杂硼 (B), 磷 (Ph), 锑 (Sb), 砷 (As), 未掺杂
取向(1-0-0)、(1-1-1)、(1-1-0)、自定义
电阻率 (ohm-cm)0.001 – 30,000+
厚度 (um)20 – 2,000+
平面/缺口无平, SEMI 主要平屋, Jeida 平屋, 2 个 SEMI 平屋, 缺口
完成SSP、DSP、蚀刻、研磨

SEMI 标准规格

直径2 英寸(50.8 毫米)3 英寸(76.2 毫米)4 英寸(100 毫米)5 英寸(125 毫米)6 英寸(150 毫米)8 英寸(200 毫米)12 英寸(300 毫米)
直径50.8 ± 0.38 毫米76.2 ± 0.63 毫米100 ± 0.5 毫米125 ± 0.5 毫米150 ± 0.2 毫米200 ± 0.2 毫米300 ± 0.2 毫米
厚度279 ± 25 微米381 ± 25 微米525 ± 20 μm 或 625 ± 20 μm625 ± 20 微米675 ± 20 μm 或 625 ± 15 μm725 ± 20 微米775 ± 20 微米
主平地长度15.88 ± 1.65 毫米22.22 ± 3.17 毫米32.5 ± 2.5 毫米42.5 ± 2.5 毫米57.5 ± 2.5 毫米缺口缺口
次级平铺长度8 ± 1.65 毫米11.18 ± 1.52 毫米18 ± 2.0 毫米27.5 ± 2.5 毫米37.5 ± 2.5 毫米
主要平地/缺口位置(110) ± 1°(110) ± 1°(110) ± 1°(110) ± 1°(110) ± 1°(110) ± 1°(110) ± 1°

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