WaferPro SiO2熔融石英晶圆
“熔融石英”或“熔融石英”，它是石英 （SiO2） 的非晶相。与硼硅酸盐玻璃相比，熔融石英不含添加剂;因此它以纯形式存在，即 SiO2。与普通玻璃相比，熔融石英在红外和紫外线光谱中具有更高的透射率。熔融石英是通过熔化和再固化超纯 SiO2 制成的。另一方面，合成熔融石英由富含硅的化学前驱体（如 SiCl4）制成，这些化学前驱体在 H2 + O2 气氛中气化然后氧化。在这种情况下形成的 SiO2 粉尘与基板上的二氧化硅熔合。熔融石英块被切割成晶片，然后最终对晶片进行抛光。
熔融石英硅片的类型
WaferPro 提供由以下衬底材料制成的高品质熔融石英玻璃晶圆。
| 大小 | 英寸 | 2″ | 3″ | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12” |
|---|
| 直径 | 毫米 | 50.8 | 76.2 | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| 容差 （±） | 毫米 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 厚度 | 微米 | 100 及以上 | 100 及以上 | 100 及以上 | 300 及以上 | 400 及以上 | 500 及以上 | 500 及以上 |
| 主要参考单位 | 毫米 | 32.5 | 32.5 | 32.5 | 57.5 | 半缺口 | 半缺口 | 半缺口 |
| LTV （5 毫米 x 5 毫米） | 微米 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV 电视 | 微米 | < 2 | < 2 | < 2 | < 3 | <3 | <5 | <5 |
| 弓 | 微米 | ±20 | ±20 | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| 经线 | 微米 | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| 连续曝光度（5mm*5mm）<0.4um | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| 边缘倒圆角 | 毫米 | SEMI 标准 | SEMI 标准 | SEMI 标准 | SEMI 标准 | SEMI 标准 | SEMI 标准 | SEMI 标准 |
| 表面类型 | SSP/DSP的 | SSP/DSP的 | SSP/DSP的 | SSP/DSP的 | SSP/DSP的 | SSP/DSP的 | SSP/DSP的 | |
| 表面粗糙度 | 纳米 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
WaferPro 熔融石英硅片：实现尖端技术
作为高纯度熔融石英硅片的主要制造商，我们为众多先进行业的创新提供支持。从半导体光刻技术到天文光学，我们的晶圆可提供突破界限所需的精确性能。世界各地的客户以我们的材料为设计核心，创造出变革性的产品。
我们利用一丝不苟的制造技术生产具有卓越质量标准的熔融石英晶片。我们的晶圆具有出色的光传输率、化学电阻率、微污染物纯度、耐温性和尺寸稳定性。我们可以根据需要定制直径、厚度、平面或方向。
凭借十多年的熔融石英专业知识，我们的工艺工程专业知识转化为一批又一批的均匀性晶圆。我们欢迎有机会与研究人员合作，共同开发以下领域的前沿应用：
- 光刻 – 显微镜物镜、透镜
- MEMS – 微流体、生物微电子的衬底
- 光电子学 – 平面波导电路
- 传感器 – Lab-on-Chip 设备、光谱学
- 天文学 – 望远镜、校准工件
- 光学系统 – 窗口、棱镜、滤光片
- 计量 – 平面、粗糙度标准
- 激光技术 – 板坯、棒材、管材
下一代技术的基础从这里开始。探索我们的熔融石英硅片如何为您自己的高级设计提供支持。我们的团队邀请讨论您的特定应用需求。了解为什么行业领导者依赖我们的卓越材料科学和工程。
