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Borofloat 33 玻璃晶圆
Borofloat 33 玻璃晶圆广泛应用于微光学、传感器、微光刻、半导体工程、照明、医疗技术等领域，具有出色的性能。它采用最新技术制造，具有清晰、无色、高质量镜面表面和优异的光学质量。其厚度均匀，内部应力低，且耐热冲击。
WaferPro 为半导体行业提供多种高纯度 Borofloat 33 玻璃晶圆，因其化学惰性且表面密度变化极低而备受青睐。
我们还通过独家工厂为微电子行业提供 Borofloat 33 玻璃晶圆。作为高纯度 Borofloat 33 玻璃晶圆的领先供应商，我们凭借广泛的产品线能够满足客户的任何需求。我们始终按时交付高纯度 Borofloat 33 玻璃晶圆，并保持一致的品质。
Borofloat 33 玻璃晶圆的类型
WaferPro 的 Borofloat 33 玻璃晶圆采用精心调整的配方制成，具有适当的强度、硬度和耐磨性。Borofloat 具有优异的热氧化和氧化稳定性，因此非常适合大多数应用。
- 标准 Borofloat 玻璃晶圆
适用于通用应用的标准厚度。 - 超薄 Borofloat 玻璃晶圆
比标准晶圆更薄，适用于需要更轻重量或更薄轮廓的应用。 - 超厚 Borofloat 玻璃晶圆
比标准晶圆更厚，适用于需要更高强度和耐久性的应用。 - 定制形状 Borofloat 玻璃晶圆
可根据特殊应用需求制成标准圆形以外的独特形状。
硼硅玻璃 33 (Borofloat 33) 晶圆的主要应用
以下是硼硅玻璃 33 晶圆的一些关键应用领域：
🔹 MEMS
硼硅玻璃晶圆用作制造MEMS（微机电系统）传感器、执行器和微流控设备的基板。
🔹 光学
硼硅玻璃优良的光学特性适用于制造精密光学元件，如平板、窗口、棱镜和滤光片。
🔹 半导体加工
硼硅玻璃是常见的晶圆载体材料，用于支撑器件晶圆。
🔹 光子学
硼硅基板支持平面波导、光栅和光学电路的制造。
🔹 天文学
硼硅玻璃的高透光率使其适用于望远镜和仪器的光学窗口和透镜。
🔹 电泳
硼硅玻璃微芯片设备可用于电泳生物分析。
🔹 电化学
硼硅玻璃晶圆在电化学反应中提供优异的绝缘性和耐化学性。
🔹 光学计量
其超平整度和优异的表面质量，使其可作为校准标准工件。
🔹 教育实验套件
硼硅玻璃的可蚀刻性和电绝缘性能使其成为教学实验室中的优质资源。
我们的加工能力
| 规格 | 英寸 | 2″ | 3″ | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 直径 (mm) | 50.8 | 76.2 | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 | |
| 公差 (±) (mm) | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | |
| 厚度 (µm) | ≥100 | ≥100 | ≥100 | ≥300 | ≥400 | ≥500 | ≥500 | |
| 主定位平边 (mm) | 32.5 | 32.5 | 32.5 | 57.5 | 半刻槽 | 半刻槽 | 半刻槽 | |
| LTV (5mm×5mm) (µm) | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | |
| 总厚度偏差 (TTV) (µm) | <2 | <2 | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 | |
| 弯曲度 (µm) | ±20 | ±20 | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 | |
| 翘曲度 (µm) | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 | |
| PLTV (5mm×5mm)<0.4µm (%) | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | |
| 边缘圆滑度 (mm) | SEMI 标准 | SEMI 标准 | SEMI 标准 | SEMI 标准 | SEMI 标准 | SEMI 标准 | SEMI 标准 | |
| 表面类型 | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | |
| 表面粗糙度 (nm) | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
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