WaferPro 4“ (100mm) 高电阻率浮区硅片

WaferPro 4“ (100mm) 高电阻率浮区硅片

概述:

WaferPro 是高质量半导体材料的领先供应商,包括我们的 4 英寸(100 毫米)高电阻率浮区硅片。这些晶片采用浮子区 (FZ) 方法制造,可产生具有非常高电阻率的极纯硅。这使它们成为低杂质和高电阻至关重要的敏感应用的理想选择。我们的浮法区晶圆提供单面抛光 (SSP) 和双面抛光 (DSP) 表面,以满足先进技术的严格要求。

主要规格:

规范价值
直径100 毫米±0.2 毫米
生长方式浮子区 (FZ)
≤20微米
经线≤20微米
总厚度变化 (TTV)≤5微米
TIR≤3微米
搅拌≤1.5微米
粒子≤10@≥0.3微米
少数运营商生命周期≥1000μ秒
氧气浓度≤1 ppma
碳浓度≤0.5 ppma
表面粗糙度 Ra≤5Å

主要特点:

  • 超高纯度 – 我们的高电阻率 Float Zone 晶圆以其卓越的纯度和高电阻率而闻名,使其适用于高性能应用。
  • 卓越的表面质量 – 提供外延就绪表面,确保外延层生长的最佳条件。
  • 单晶硅 – 由单晶浮球区硅制成,提供均匀且无缺陷的衬底。
  • 符合标准 – 我们的晶圆在直径、厚度和电气特性方面达到或超过 SEMI 标准。
  • 广泛的应用范围 – 非常适合用于功率器件、高频电子设备、辐射探测器和其他专用半导体应用。
  • 严格的质量控制 – 每片晶圆都经过彻底的检查和质量控制流程,以确保符合规格。
  • 洁净室包装 – 晶圆在洁净室条件下包装以防止污染,确保它们以原始状态到达。

主要应用:

我们的高电阻率浮区硅片用于各种高科技应用,包括:


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