VTI,CLP-6,CLP-7,CLP-8,CLP-9,CLP-10,CLP-11,CLP-12,CLP氦气渗透式标准漏孔,泄露检测器,VTI CLP系列是专为氦质谱检漏仪和超高真空系统设计的高精度标准器具，同时可作为次级标准用于传递校准其他氦漏孔。
CLP型氦气渗透式标准漏孔
产品概述
VTI CLP系列是专为氦质谱检漏仪和超高真空系统设计的高精度标准器具，同时可作为次级标准用于传递校准其他氦漏孔。该系列采用玻璃渗透元件与全不锈钢焊接结构，具有以下核心特征：
- 超宽量程覆盖：10⁻⁶~10⁻¹² atm·cc/sec（行业唯一实现10⁻¹⁰~10⁻¹²级超低漏率的标准漏孔）
- 全金属截止阀：支持350℃高温烘烤（满足UHV工况）
- 永不堵塞设计：消除毛细管结构常见的颗粒堵塞风险
技术规格
| 特性 | 技术说明 |
|---|---|
| 稳定性 | 渗透元件衰减速率极低，可保持多年精度 |
| 量程范围 | 10⁻⁶~10⁻¹² atm·cc/sec（支持定制） |
| 真空兼容性 | 全金属结构适配10⁻⁹ Pa超高真空环境 |
| 操作便捷性 | 即插即用，无需专业培训 |
| 认证体系 | 提供NIST可溯源+A2LA认证的校准证书 |
行业应用
- 航天器密封测试系统量值传递
- 半导体设备氦检漏仪在线校准
- 核电站一回路泄漏监测基准建立
技术优势
- 与毛细管漏孔的对比：
- 渗透式结构彻底规避毛细管堵塞风险
- 超低漏率段（<10⁻¹⁰）精度提升3个数量级
- 校准服务：
- 每个漏孔附带压力-温度-漏率三维修正系数表
- 支持氦气/氩气双气体校准（选配）
注意事项
- 工作温度范围：-20℃~80℃（超出范围需启用温度补偿算法）
- 禁止接触腐蚀性气体（HF、Cl₂等）
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