英国VacTechniche,RF 电源,射频等离子发生器 300W,射频发生器
射频等离子发生器 300W
射频发生器
Vac Techniche Ltd 制造的用于溅射和等离子体发生器的射频发生器是用于工业和实验室沉积、等离子体生成甚至介电加热和熔化的可靠设备。该器件也是半导体制造系统中最重要的组件之一，用于生产现代计算机和电子设备中的集成电路 （IC） 和芯片。Vac Techniche 射频发生器及其阻抗匹配网络构成了一个完整的射频等离子体发生组件。射频发生器根据客户设计和制造 27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz 或其他频段。
特性和功能
反射功率限制器
风冷（DC 到 RF 转换效率大于 70%）
带触摸屏的图形控制、显示和调节系统
各种保护类型（反射功率、过热、过流和过压），能够自动限制发射功率
用于远程控制发电机输出功率的 0-5 V 输入电压;大于 300 W 的型号的效率超过 90%
传输功率和反射功率值的模拟输出
输出功率闭环控制，随时间稳定调整后的功率
足够的屏蔽以防止辐射和 EMI 噪声，并采取必要措施来保护操作员的健康
机架式包装盒
