DST1-L 至 DST3：真空室为圆柱形耐热玻璃，外径为 300 毫米，高 200 毫米 （DST1-4） / 外径 170 毫米 x 高 140 毫米
（DST1-2）。配有内部安装的涡轮分子泵，由隔膜泵提供支持，可引入清洁真空，而不会造成普通扩散泵中通常存在的油污染。

• 高真空涡轮泵。

• 隔膜前级泵。

• 全量程真空计。

• 高精度石英晶体厚度监测器。

• 直观的触摸屏可控制涂层过程和快速数据输入

• 用户友好的软件，可以通过网络更新。

• 控制涂层速率以实现更细的晶粒结构。

• 手动定时和厚度溅射。

• 能够记录和绘制涂层参数图表。

• 自动或半自动控制。

• 配备电子快门。

• 易于更换的试样台（标准配置是旋转台）。

• 两年保修。

• 极限真空度：小于 2×10-5 托。

• 控制溅射速率以实现更精细的晶粒结构。

• 自动控制不受压力影响的溅射功率。

• 精密质量流量计 （MFC），用于精细控制真空压力

• 能够记录和绘制涂层参数图。

• 通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC。

• 公用事业：220V-50HZ-16A。

• 运输重量 （DST1-3）： 46kg