VacTechniche VacCoat Desktop Sputter Coater-DSR1 台式溅射镀膜仪 – DSR1

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SEM Coaters | Sputter Coaters

扫描电镜 / 透射电镜样品制备

台式溅射镀膜仪可在非导电或导电性较差的样品及器件上,对金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)以及金钯合金(Au/Pd)等贵金属进行薄膜溅射镀膜。

采用溅射镀膜进行样品制备,是针对非导电及低导电性试样或样品的公认方法。

DTE 配备大电流电源及低压(电阻式)热蒸发平台,适用于各类热蒸发应用场景。

  • 2 英寸溅射靶头
  • 碳纤维靶头升级选配
  • 碳棒靶头升级选配
  • 石英晶振膜厚监测仪
  • 触摸屏控制
  • 数据快速输入
  • 易用型操作软件
  • 镀膜速率精准控制
  • 时间与膜厚溅射手动控制选配
  • 可手动设置时间、膜厚及溅射功率
  • 时间与膜厚自动溅射模式
  • 标配旋转工作台

 


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