VacTechniche VacCoat Desktop Sputter Coater-DSR1 桌面溅射镀膜机 桌面镀膜系统

VacTechniche VacCoat Desktop Sputter Coater-DSR1 桌面溅射镀膜机

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Vac Techniche 桌面溅射镀膜机能够在非导电或导电性差的样品或器件上进行贵金属薄膜溅射镀膜，这些贵金属包括金（Au）、钯（Pd）、铂（Pt）以及金 / 钯（Au/Pd）。

使用溅射镀膜进行样品制备是针对非导电和低导电样本或样品的公认方法。DTE 配备了大电流电源和低压（电阻式）热蒸发平台，适用于各种热蒸发应用。

VacTechniche DSR1 的研发旨在超越扫描电子显微镜（SEM）/ 透射电子显微镜（TEM）样品制备的要求。

这款紧凑且易于使用的溅射镀膜仪，既可以选择使用现有的真空泵，也可以配备一台真空泵。对于外部抽气，机载计算机可控制真空泵或抽气装置。

台式磁控溅射镀膜仪（DSR1）是一款高效工具，以在全自动化系统中提供一致且高度可重复的结果而闻名。其符合人体工程学的设计和小巧的占地面积使 DSR1 扫描电镜镀膜系统易于使用。DSR1 – 170 被设置为专门为扫描电子显微镜（SEM）样品制备而设计的溅射镀膜仪。DSR1 配备了一个 2 英寸的磁控阴极和一个 80W 开关直流电源，适用于各种研究和薄膜应用。此外，它还可以配备水冷阴极，使其适用于长时间的沉积过程。该型号可容纳尺寸最大为 4 英寸的基板。

功能：
・两级旋片泵选项

・2 英寸溅射头

・碳纤维头升级选项

・碳棒头升级选项

・石英晶体厚度监测仪

・触摸屏控制

・快速数据输入

・人性化软件

・精确控制镀膜速率

・时间和厚度溅射的手动控制选项

・手动设置，时间、厚度和溅射功率

・自动定时和厚度溅射

・标配旋转台

・符合 CE 标准

应用：