Vac Techniche DSCT 的开发超越了 SEM/TEM 样品制备的要求。
紧凑且易于使用的溅射镀膜机，带有板载 Turbomolecular 泵浦。
使用随附的前级真空泵或您自己的前级真空泵，所有这些都由处理器控制器控制。
使用溅射镀膜进行样品制备是公认的非导电性和低导电性样品或样品的方法，该系统也适用于光学镀膜。
Vac Techniche 台式溅射镀膜机可在非导电或导电性差的样品或设备上对贵金属进行贵金属的薄膜溅射镀膜：金 （Au）、钯 （Pd）、铂 （Pt） 和金/钯 （Au/Pd）。
机载处理器集成使台式溅射镀膜机成为扫描电子显微镜 （SEM） 和透射电子显微镜分析 （TEM） 的理想实验室和研究工具。
我们的 DSCT 设计的优点之一是抽空时间短，使其成为除研究仪器外，还可用于光学镀膜等应用的生产工具。
在自动模式下使用时，通过精细的气体流量控制沉积薄膜，产生可重复的结果。
触摸屏控制
DSCT-涡轮泵浦溅射和碳镀膜机配备 7 英寸彩色触摸屏和全自动控制和数据输入，即使是没有经验的用户也可以作系统。
真空、电流和沉积信息以数字数据或曲线的形式显示在触摸屏上。系统还将最近 300 种涂层的信息保存在历史页面中。
样品架
DSCT-Turbo 泵浦溅射和碳镀膜机提供多种样品台配置，以满足各种用户需求。样品台的设计易于旋转、高度可调和快速互换。为了对多孔样品进行均匀镀膜，您可以选择旋转行星样品台作为附加功能。
DSCT 蒸发
脉冲碳纤维
DSCT 的紧凑型腔室配备了脉冲碳纤维蒸发装置，通过使用短脉冲增强了对沉积的控制。这种创新方法不仅确保了更精确的沉积，而且大大减少了通常与传统碳沉积方法相关的碎屑的产生。
碳涂层
附件
- DSCT 具有容纳碳涂层附件的设施，非常适合 SEM/TEM 制备，使用单独的附件使碳涂层远离溅射头，避免和交叉污染问题。
- 碳也可根据要求提供杆蒸发。
特征
- 2“ 溅射头
- 碳纤维头
- 碳杆头升级选项
- 石英晶体厚度监测器。
- 触摸屏控制。
- 快速数据输入。
- 用户友好的软件。
- 精确控制涂布速率。
- Time 和 Thickness 溅射的 Manual Control 选项。
- 手动设置、时间、厚度和溅射功率。
- 自动定时和厚度溅射。
- 两年保修
- CE 合规性
规格
- 控制面板：7 英寸触摸屏、编程、作、参数插图
- 单直磁控管阴极：适用于 2“ 目标，
- 碳纤维头易于更换，便于碳纤维蒸发。
- 用于碳蒸发的大电流脉冲电源 （24V-100A）
- 薄膜厚度监视器：编程能力和 1nm 进动热电偶真空计：显示 0.001-1 mbar
- 真空室：Pyrex 圆筒室 300 mm 外径 x h200 mm，厚 7mm
- 直流电源 0-100 mA 用于溅射
- 样品架：电动样品架
- 电子泄漏阀：1 个 MFC：0-100 sccm，用于氩气和反应气体。
- 快门：电子快门
- 主体：金属立方体-30*50*50 cm
- 涡轮分子泵：90 l/s （Leybold）
- 前级泵：4m/h 双级旋转泵
- 真空计：皮拉尼和潘宁的组合 （Leybold）
- 排气阀：1/4“ 电动
- 包装：轮式箱
- 除泵外，所有部件均提供 24 个月保修
- Leybold 莱宝零件的 12 个月保修
应用
选项和附件
DSCT 具有流动选项和附件：
- 碳涂层头，带 100A 电源，用于碳棒蒸发。非全自动
- 石英晶体
- 行星样品旋转
- 备用玻璃
- 金靶材 （Au），直径 2 英寸，厚度 0.15
- 银靶 （Ag），直径 2 英寸，厚度 0.3
- 铂靶材 （Pt），直径 2 英寸，厚度 0.15
- 升级为干式泵系统，Leybold 隔膜 1.4 m^3/h 真空前级泵
- 溅射靶材
- 碳纤维
