Vac Techniche 手套箱三热源桌面涂布机为各种形式的源材料(包括线、绳、颗粒和粉末)提供了一个非常通用的热蒸发系统,与船/篮和线圈源支架兼容。兼容手套箱,遥控,电动腔室升降机构。
双磁控管靶台式溅射镀膜机可以在蒸发和溅射沉积之间轻松切换,以制备多层镀膜。
三个独立的热阻热蒸发源。
源温度控制选项、子状态温度监测和控制选项
E蒸发源支架设计不会造成源材料相互污染。
光源支架的长度可在 50mm~90mm 范围内调节。
提供 Co-蒸发升级
蒸发源
- 船
- 篮子
- 线圈/线材
真空系统包括:
耐热,圆柱形耐热玻璃,外径 300 毫米,高 200 毫米。
90 L/s 涡轮分子泵直接安装在真空包络底板上,并由 6 m3/h 两级旋转泵提供支持,该泵可引入清洁真空,而不会像普通扩散泵那样受到油污染
提供干式前级泵选项
DTT 三重蒸发源选择是多层或合金沉积的理想选择。
带有集成涡轮泵的 DTT 可快速达到压力,从而在几分钟内开始涂层过程。它是研究、实验室和产品应用的理想选择
触摸屏控制

为了便于使用,通过系统 Wi-Fi 远程连接到笔记本电脑以模拟系统,具有全自动控制、数据输入和显示功能的 7 英寸触摸彩色屏幕控制旨在方便有经验和没有经验的作员使用。控制系统允许记录多达 300 个历史处理。
样品架

DCT-台式碳包衣机
涡轮泵碳包衣机提供多功能样品台配置,以满足各种用户需求。样品台的设计易于旋转、高度可调和快速互换。为了对多孔样品进行均匀镀膜,您可以选择旋转行星样品台作为附加功能。
DTT-GB 蒸发涡轮
分子泵
90 L/s 涡轮分子泵直接安装在真空包络底板上,并由 6 m3/h 两级旋转泵提供支持,该泵可引入清洁真空,而不会像普通扩散泵那样受到油污染
热蒸发
舟/篮/盘管
台式热蒸发器可配备三个独立的热阻热蒸发源。蒸发源支架的良好设计不会造成源材料相互污染。源架的长度可在 5cm~9cm 范围内调整。