DTE 是一种台式热蒸发器系统，用于在基板上沉积薄层材料，用于研究和电子显微镜研究。DTE 配置为适用于样品蒸发实验的材料蒸发器。这种低预算、小腔室和高真空系统非常适合贵金属和氧化性金属的短时间沉积。
触摸屏控制
DTE 配备了一个 7 英寸彩色触摸屏面板，使用用户友好的软件来控制沉积过程数据。真空和涂层顺序信息可以在触摸屏上以数字数据或曲线的形式观察，最后 300 次涂层保存在历史记录页面上。
样品架
DTE 沉积系统提供向上和向下金属蒸发配置的多功能性。
对于向上沉积，将材料加载到船源中，并将样品固定在腔室的 S 形夹上，以便于取用。
在向下沉积的情况下，将少量所需材料装入篮中，并可选择使用底板上的旋转样品架。
DTE作要求
DTE 配备了大电流电源和低压（电阻式）热蒸发平台，适用于各种热蒸发应用。该系统允许将各种材料受控地热蒸发到基材上。不同类型的热蒸发源（舟、篮和盘管）可以安装在单个热源支架上。
特征
- 物料蒸发半自动控制
- 配备单独的直流大电流电源（最大 12V，100A）
- 直径 170 mm 的硼硅酸盐-SST 真空室
- 内置涡轮分子泵的高真空度 （Leybold 90 l/s）
- 两级旋转（可选隔膜或涡旋）前级泵
- 用于实时厚度测量的石英晶体监测系统（精度为 1 nm）
- 电子快门
- 两个大电流电馈通，用于热源插入
- 可移动的热源支架，可向上或向下沉积配置
- 自动排气阀
- 全系列真空计
- 腔室导线上的 S 形夹样品架
- 底板上的 2 英寸旋转样品架（可选）
- 样品旋转、高度和倾斜度可调（用于可选的 2 英寸样品架）
- 两年保修
应用
- 金属薄膜
- 纳米与微电子
- 太阳能电池应用
- 薄膜传感器
- 用于 SEM 和 FE-SEM 样品制备的细颗粒结构沉积
- 用于 SEM 样品制备的闪蒸模式下的碳纤维蒸发
规格
- 极限真空度：小于 4×10-6托
- 低持续时间沉积工艺
- 记录和绘制触摸屏上显示的参数
- 通过 USB 端口将曲线和沉积工艺数据传输到 PC
- 0-12 V、0-100 A 直流大电流电源
- 实用程序：220V-110V，50/60HZ-6/8A
- 仪器尺寸：金属立方体 – H47 x D37 × W46 cm
- 净重：30 kg（不含前级泵）
选件和附件
DTE 具有以下选件和附件：
- 石英晶体传感器
- 备用玻璃室
- 密封垫片
- 船只和篮子
清洁真空
- 真空室的外径为 170 mm，高度为 140 mm。
- DTE 配有一个内部安装的 90 L/s 涡轮分子泵，由 6m 支撑3/h 两级旋片泵（可选）。
