双磁控管靶台式溅射镀膜机可以在蒸发和溅射沉积之间轻松切换，以制备多层镀膜。
触摸屏控制
- DST2-TG 配备了一个 7 英寸彩色触摸屏面板，使用用户友好的软件来控制和调整沉积过程数据。面板窗口也可以通过 Wi-Fi 连接在 PC 上使用。真空和涂层顺序信息可以在触摸屏上以数字数据或曲线的形式观察，最后 300 次涂层保存在历史记录页面上。
DST2-TGB配件
溅射镀膜机系统可以配备可选设施，包括：
- 带有可自动调节的匹配盒的射频电源，可最大限度地减少射频溅射过程中的反射功率，
- 等离子清洗剂，用于在薄膜沉积前去除基板表面的有机物
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手套箱系统
手套箱系统为敏感材料提供受保护的环境，防止与空气或湿气接触以及不必要的相互作用。DST2-TG 带手套箱的高真空镀膜系统可在惰性气体气氛下的沉积过程之前或之后提供安全、清洁的基板处理，以及高度可控的腔室环境，有助于在高真空条件下实现高纯度薄层沉积。
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台式磁控溅射镀膜机
DST2-TG 磁控管台式溅射镀膜机是一种高精度半/全自动真空镀膜系统，配备一个大腔室（直径 300 毫米）和两个直径为 2 英寸的水冷阴极，使其适用于长时间沉积。该系统是用于溅射、碳纤维和金属蒸发的单一平台。磁控管台式溅射镀膜机可以溅射半导体、电介质和金属靶材。溅射阴极和热蒸发舟可以一起安装或互换安装，总共有三个沉积源可用。利用碳纤维也可以实现碳沉积。
特征
- 溅射镀膜机和热蒸发器的组合，用于手套箱安装
- 内置涡轮分子泵
- 大腔室：直径 30 厘米，高。20-25 厘米
- 简单快速的目标安装：无需目标支架
- 利用带背板的目标增强热传导
- 旋转样品架
- 安装在手套箱上的KF40馈入件，用于电源（直流、射频、大电流）、真空泵软管、水冷和氩气/反应气体连接以及电气连接。
- 通过 MFC 进行气体注入控制
- 双精度石英晶体厚度传感器
- Vac Coat 产品在全球范围内由公共和产品责任保险承保，以防 Vac Coat 系统造成任何财产损失或人身伤害。
规格
- 在手套箱安装腔室的惰性气体气氛下进行沉积过程之前或之后，安全、清洁地处理基板
- 极限真空度：小于 8×10-6 Torr
- 高度可控的腔室环境和手套箱内的高纯度薄层沉积
- 无需目标支架即可轻松快速地安装目标
- 利用带有背板的目标改善热传导
- 每个阴极的独立溅射控制速率，以产生细晶粒结构
- 自动安全控制阴极温度，以保护磁体的使用寿命
- 使用全自动触摸屏控制快速记录数据
- 两个精密质量流量计 （MFC），用于精细控制真空和压力
- 记录并绘制涂层参数图表。
- 通过 USB 端口或通过 Wi-Fi 连接到 PC 传输曲线和沉积工艺数据
- 0- 1200 V，0-500 mA 直流电源
- 实用程序：220V-110V，50/60HZ-16/25A。
- 仪器尺寸：550 宽 x 600 深 x 600 高 mm
- 净重：120kg （泵、机架和仪器箱
自动化
- 直观的触摸屏，用于控制涂层过程和快速数据输入
- 用户友好的软件，可通过网络更新
- 半全自动涂层工艺（可选）
- 真空玻璃室的软件可控垂直运动
- 手动或自动定时和厚度沉积
- 通过 Wi-Fi 连接从 PC 控制沉积过程
- 存储用于可重复沉积的涂层配方
- 多层薄膜的靶材选择
- 电子百叶窗
- 自动阴极选择
选件和附件
- 石英晶体传感器
- 备用玻璃室
- 溅射靶材
- 密封垫片
