使用溅射涂层进行样品制备是公认的非导电和低导电性样品或样品的方法。
Vac Techniche DSCR 的开发超越了 SEM/TEM 样品制备的要求。 紧凑且易于使用的溅射镀膜机，可以选择使用现有泵或随附泵。
对于外部泵送，机载计算机控制泵或泵送设备。
对于需要涡轮分子泵的应用，DSCT 具有一体式涡轮分子真空泵，可选择标准或更大的真空容器，以适应大多数样品和样品尺寸。
Vac Techniche 台式溅射镀膜机可在非导电或导电性差的样品或设备上对贵金属进行贵金属的薄膜溅射镀膜：金 （Au）、钯 （Pd）、铂 （Pt） 和金/钯 （Au/Pd）。
机载计算机集成使台式溅射镀膜机成为扫描电子显微镜 （SEM） 和透射电子显微镜分析 （TEM） 的理想实验室和研究工具。
我们的 DSCR 设计的优点之一是快速抽空，使其成为除研究仪器外的生产工具，适用于光学镀膜等应用。
DSCR 薄膜
DSCR 薄膜通过精细控制进行沉积，在自动模式下使用时产生可重复的结果。
碳涂层附件
触摸屏控制
DSCR-台式 SEM/TEM 溅射和碳镀膜机，配备 7 英寸彩色触摸屏和全自动控制和数据输入，即使是没有经验的用户也可以作系统。
真空、电流和沉积信息以数字数据或曲线的形式显示在触摸屏上。系统还将最近 300 种涂层的信息保存在历史页面中。
样品架
DSCR 可配备各种样品台配置，以满足每个用户的特定需求。标准样品台可旋转，高度和角度可调，并且可以轻松更换以适应不同类型的样品。其他样品台选项包括真空兼容样品台、加热样品台和带有多个样品架的样品台。
碳素涂层头
DSCR 具有专为碳涂层目的而设计的可互换头，能够加载两根直径为 0.8 mm 的碳纤维。这样就可以在需要时应用更厚的碳膜。
DSCR 设施
DSCR 具有容纳碳涂层附件的功能，非常适合 SEM/TEM 制备。
DSCR 是一种溅射镀膜机，在一台紧凑的仪器中带有碳镀膜机附件，是理想的选择，尤其是在实验室空间狭小的情况下。
特征
- 两级，直接驱动 4m3/h， 旋片泵
- 170 mm 外径 x 140 mm Pyrex 气瓶室
- 尺寸：45 厘米 x 50 厘米 x 37 厘米 深
- 2 英寸磁控管阴极
- 极限真空度：小于 50 毫托
- 行星样品旋转
- 热电偶真空计
- 精度为 1nm 的石英晶体厚度监测器
- 电动控制百叶窗
- 自动排气阀
- 保存最后进行的 300 次涂层
- 实用程序：220V-240V，50/60HZ-10A
- 80 W 直流开关电源
- 通过 USB 端口将曲线和溅射工艺数据传输到 PC
- 运输重量： 42Kg
应用
台式溅射镀膜机 DSCR 型是扫描电子显微镜 （SEM） 样品制备的重要组成部分。它采用旋转泵，确保真空度低于 50 mTorr，非常适合贵金属溅射镀膜和碳纤维蒸发镀膜。对于氧化性金属的溅射沉积、场发射 SEM （FE-SEM）、SEM EDX 和 TEM 应用，我们建议探索 DST1、DSCT 和 DCT 模型。
规格
- 外径 170 毫米 x 140 毫米 Pyrex 气缸室。
- 尺寸：45 厘米 x 50 厘米 x 37 厘米 深。
- 运输重量： 42Kg.
- 实用程序：220V-50Hz – 10A。
- 80 瓦直流开关电源。
- 极限真空：小于 50 毫托。
- 2 英寸磁控管阴极。
- 电子快门。
- 精密计量阀，以控制真空压力。
- USB 端口，用于导出和记录过程数据。
选项与附件
台式溅射和碳镀膜机具有以下选项和附件：
- 碳棒蒸发头
- 碳棒大电流电源
- 石英晶体传感器
- 行星样品旋转
- 备用玻璃真空室
- 溅射靶材
- 碳纤维
- 密封垫片
