英国VacTechniche,DTT-Turbo 三重热蒸发

Vac Techniche 三重热源桌面涂布机为各种形式的源材料(包括线、绳、颗粒和粉末)提供了一个非常通用的热蒸发系统,与船/篮和线圈源支架兼容。

触摸屏控制

DTT-Turbo 三重热蒸发仪配备 7 英寸彩色触摸屏和全自动控制和数据输入,即使是没有经验的用户也可以作系统。

真空、电流和沉积信息以数字数据或曲线的形式显示在触摸屏上。系统还将最近 300 种涂层的信息保存在历史页面中。

三源蒸发

带蒸发源(舟/篮/盘管)选择系统的三源蒸发器或台式蒸发器是多层或合金沉积的理想选择。

90 L/s 涡轮分子泵直接安装在真空包络底板上,并由 6 m3/h 两级旋转泵提供支持,该泵可引入清洁真空,而不会像普通扩散泵那样受到油污染

热蒸发
舟/篮/盘管

台式热蒸发器可配备三个独立的热阻热蒸发源。蒸发源支架的良好设计不会造成源材料相互污染。源架的长度可在 5cm~9cm 范围内调整。

特征

  • 多层热涂层
  • 大尺寸腔室
  • 高真空涡轮分子泵 300 l/s
  • 隔膜前级泵
  • 全系列真空计
  • 用于多层薄膜沉积的蒸发源(舟/篮/线圈)选择
  • Co – 蒸发形成合金膜
  • 用于实时厚度测量的石英晶体监测系统(精度为 1 nm)
  • 手动模式、电源、时间控制
  • 自动定时和厚度沉积
  • 易于使用的触摸屏控制面板
  • 快速数据输入
  • 用户友好
  • 可通过网络更新的软件
  • 配备电子快门
  • 配备旋转样品架
  • 500 °C 辐照基板加热器
  • 两年保修

规格

  • 多船、篮子和线圈安装
  • 极限真空度:小于 2×10-6
  • 电路板处理器记录和绘图涂层参数图
  • 用于导出沉积过程数据的 USB 端口
  • 自动控制:功率和涂层不受压力的影响
  • 大电流电气馈通
  • 直流电源,0-100amp 大电流,
  • 短路保护 /
  • 实用程序:220V- 50HZ- 16A
  • 尺寸:60 厘米高 × 65 厘米宽 × 50 厘米深
  • 运输重量: ~ 60 kg

 应用

  • 金属和介电薄膜
  • 薄膜涂层
  • 光学镀膜
  • 纳米与微电子
  • 医疗零部件
  • 磁性器件
  • 薄膜多层器件

选件和附件

DTT 具有流动选项和附件:

  • 大电流电源
  • 石英晶体
  • 备用玻璃
  • 蒸发源(舟/篮/盘管)
  • 热源材料
  • 质量流量控制器

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