Vac Techniche Ltd 制造的用于溅射和等离子体发生器的射频发生器是用于工业和实验室沉积、等离子体生成甚至介电加热和熔化的可靠设备。该器件也是半导体制造系统中最重要的组件之一，用于生产现代计算机和电子设备中的集成电路 （IC） 和芯片。
Vac Techniche 射频发生器及其阻抗匹配网络构成了一个完整的射频等离子体发生组件。射频发生器根据客户设计和制造 27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz 或其他频段。
该频率是工业、科学和医疗 （ISM） 无线电频段中最常用的频率之一。该频段用于一般用途，因此允许进行高功率活动，而不会对周围的电信系统造成任何干扰。该频段使用功率从几毫瓦到几百千瓦不等的发电机。
特性和功能
- 反射功率限制器
- 风冷（DC 到 RF 转换效率大于 70%）
- 带触摸屏的图形控制、显示和调节系统
- 各种保护类型（反射功率、过热、过流和过压），能够自动限制发射功率
- 用于远程控制发电机输出功率的 0-5 V 输入电压;大于 300 W 的型号的效率超过 90%
- 传输功率和反射功率值的模拟输出
- 输出功率闭环控制，随时间稳定调整后的功率
- 足够的屏蔽以防止辐射和 EMI 噪声，并采取必要措施来保护作员的健康
- 机架式包装盒
技术规格
| 电源 | 220 伏（200-240 伏），50 赫兹（50-60 赫兹） |
| 输出频率 | 13.56兆赫 |
| 保护 | 各种类型（反射功率保护、过热保护、过流保护、过压保护），特别是反射功率限制器 |
| 显示 | 带触摸屏或数字显示器的图形显示 |
| 遥控 | 数字 RS485 |
| 工作温度 | 10-40°C |
| 冷却 | 空调 |
| 输出阻抗 | 50Ω（电阻） |
| 尺寸 （cm） | 取决于设备输出 |
| 重量 | 取决于设备输出 |
| 输出连接器 | N – 7/16 |
| 箱体材质 | 铝 |
RF生成模型
| RFG150 系列 | RFG300 系列 | RFG600型 | RFG1000 | RFG2000 | RFG5000 | |
| 频率 （MHz） | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 |
| 功率 （W） | 150 | 300 | 600 | 1000 | 2000 | 5000 |
| 输出阻抗 （ohms） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 连接类型 | 模拟和数字max485 | 模拟和数字max485 | 模拟和数字max485 | 模拟和数字max485 | 模拟和数字max485 | 模拟和数字max485 |
| 前面板显示 | 液晶显示器 | 液晶显示器 | 液晶显示器 | 液晶显示器 | 7段 | 7段 |
| 输出连接器 | N | N | N | N | N | 7/16 |
| 触摸屏 | 是的 | 是的 | 是的 | 是的 | 不 | 不 |
| 输入功率 | 单相的 | 单相的 | 单相的 | 单相的 | 3 阶段 | 3 阶段 |
| 冷却 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷和水冷 |
