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英国VacTechniche,真空镀膜系统,SEM 镀膜机,DTT-Turbo 三重热蒸发,DTT 蒸发涡轮

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DTT-Turbo 三重热蒸发

SEM/TEM 镀膜系统

Vac Techniche 真空镀膜系统

Vac Techniche 三重热源桌面涂布机为各种形式的源材料（包括线、绳、颗粒和粉末）提供了一个非常通用的热蒸发系统，与船/篮和线圈源支架兼容。

DTT 蒸发涡轮
分子泵

90 L/s 涡轮分子泵直接安装在真空包络底板上，并由 6 m3/h 两级旋转泵提供支持，该泵可引入清洁真空，而不会像普通扩散泵那样受到油污染

热蒸发
舟/篮/盘管

台式热蒸发器可配备三个独立的热阻热蒸发源。蒸发源支架的良好设计不会造成源材料相互污染。源架的长度可在 5cm~9cm 范围内调整。

  • 多层热涂层
  • 大尺寸腔室
  • 高真空涡轮分子泵 300 l/s
  • 隔膜前级泵
  • 全系列真空计
  • 用于多层薄膜沉积的蒸发源（舟/篮/线圈）选择
  • Co – 蒸发形成合金膜
  • 用于实时厚度测量的石英晶体监测系统（精度为 1 nm）
  • 手动模式、电源、时间控制
  • 自动定时和厚度沉积
  • 易于使用的触摸屏控制面板
  • 快速数据输入
  • 用户友好
  • 可通过网络更新的软件
  • 配备电子快门
  • 配备旋转样品架
  • 500 °C 辐照基板加热器
  • 两年保修


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