英国VacTechniche,真空镀膜系统,SEM 镀膜机,涡轮泵溅射镀膜机 DST1-170

英国VacTechniche,真空镀膜系统,SEM 镀膜机,涡轮泵溅射镀膜机 DST1-170

SEM 镀膜机 |溅射镀膜机

SEM/TEM 样品制备 Vac Techniche

介绍 DST1-170,这是一款先进的高真空磁控管台式溅射镀膜机。这种紧凑的涂层系统以其多功能性而著称,能够有效地涂覆氧化性和非氧化性金属。DST1-170 是短期沉积需求的理想选择,擅长快速生产具有细晶粒纹理的均匀薄膜。通过这种创新解决方案体验快速而精确的涂层周期。

vac Coat DST1-170 具有最小的台式占地面积之一,可为高分辨率 SEM 和 TEM 样品制备提供直流溅射。

台式溅射镀膜机 |DSR1 系列

台式磁控溅射镀膜机 (DSR1) 是一种高效的工具,以在全自动系统中提供一致且高度可重复的结果而闻名。DSR1 SEM 镀膜系统采用符合人体工程学的设计和较小的占地面积,易于使用。

由于自动过程控制,可提供具有可重复结果的高分辨率清晰度涂层,从而轻松设置和操作。

DST1-170 也可用于光学和薄膜镀膜的一般金属溅射。 样品旋转是标准配置,大多数应用都可以调整倾斜和高度。 Vac Techniche 还有一系列更大的涡轮泵浦溅射镀膜机,可选择 1 至 3 英寸、2 英寸磁控管、射频和直流、样品加热,该系列是 DST1-300 系列。

DST1-170 也可用于光学和薄膜镀膜的一般金属溅射。
DST1-170 可配备水冷阴极,使其适合长时间沉积。
此模型中基板的最大尺寸可以是 4 英寸。
DST1 可以配备水冷阴极,使其适合长时间沉积。
此模型中基板的最大尺寸可以是 4 英寸。

DST1-170 洁净真空
脉冲碳纤维升级选项

真空室是圆柱形 Pyrex。DST1-170 配有一个内部安装的 90 L/s 涡轮分子泵,由一个 6 m3/h 的两级旋片泵提供支持。它引入了普通扩散泵通常存在的无油污染的清洁真空。

DST1-170 蒸发
脉冲碳纤维升级选项

紧凑的台式真空溅射碳镀膜机专为小腔室设计,具有令人印象深刻的脉冲碳纤维蒸发能力。在此过程中使用短脉冲可以在沉积过程中实现更精细的控制,并且作为一个显着的好处,可以大大减少通常与传统碳沉积方法相关的碎屑的产生。这一进步不仅提高了涂层精度,还大大减轻了碎屑带来的挑战,使其成为各个领域的研究人员和专业人士的宝贵工具。

  • 高真空涡轮分子泵。
  • 隔膜前级泵。
  • 全系列真空计。
  • 碳纤维蒸发(升级选项 DSCT
  • 脉冲或闪光碳纤维涂层模式(升级选项 DSCT)
  • 高精度石英晶体厚度监测器。
  • 直观的触摸屏,用于控制涂层过程和快速数据输入
  • 用户友好型软件,可通过网络进行更新。
  • 控制涂层速率以获得更精细的晶粒结构。
  • 手动或自动定时和厚度溅射。
  • 能够记录和绘制涂层参数图表。
  • 配备电子快门。
  • 易于更换的样品台(旋转台为标准)。
  • 两年保修。


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