这是一款先进的高真空磁控管台式溅射镀膜机。这种紧凑的涂层系统以其多功能性而著称，能够有效地涂覆氧化性和非氧化性金属。DST1-170 是短期沉积需求的理想选择，擅长快速生产具有细晶粒纹理的均匀薄膜。通过这种创新解决方案体验快速而精确的涂层周期。
DST1-170 也可用于光学和薄膜镀膜的一般金属溅射。 样品旋转是标准配置，大多数应用都可以调整倾斜和高度。 Vac Techniche 还有一系列更大的涡轮泵浦溅射镀膜机，可选择 1 至 3 英寸、2 英寸磁控管、射频和直流、样品加热，该系列是 DST1-300 系列。
DST1-170 也可用于光学和薄膜镀膜的一般金属溅射。
DST1 可以配备水冷阴极，使其适合长时间沉积。
此模型中基板的最大尺寸可以是 4 英寸。
触摸屏控制
DST1-170 配备 7 英寸彩色触摸屏和用户友好的软件，可实现无缝控制。其全自动控制功能可轻松调整沉积工艺数据，真空和镀膜顺序信息以数字方式或在屏幕上以曲线形式显示。此外，它还可以方便地保存最近 300 种涂层的详细信息以供快速参考。
样品架
DST1 提供多种样品台配置，以满足各种用户需求。其标准的可旋转样品台具有可调节的高度和角度，便于定制。用户可以根据需要轻松地在配置之间切换。对于多孔样品的均匀涂层，可选的旋转行星样品台是一个很好的选择。
DST1-170 洁净真空
真空室是圆柱形 Pyrex。DST1-170 配有一个内部安装的 90 L/s 涡轮分子泵，由一个 6 m3/h 的两级旋片泵提供支持。它引入了普通扩散泵通常存在的无油污染的清洁真空。
DST1-170 蒸发
紧凑的台式真空溅射和碳镀膜机专为小腔室设计，具有令人印象深刻的脉冲碳纤维蒸发能力。在此过程中使用短脉冲可以在沉积过程中实现更精细的控制，并且作为一个显着的好处，可以大大减少通常与传统碳沉积方法相关的碎屑的产生。这一进步不仅提高了涂层精度，还大大减轻了碎屑带来的挑战，使其成为各个领域的研究人员和专业人士的宝贵工具。
特征
- 高真空涡轮分子泵。
- 隔膜前级泵。
- 全系列真空计。
- 碳纤维蒸发（升级选项 DSCT）
- 脉冲或闪光碳纤维涂层模式（升级选项 DSCT）
- 高精度石英晶体厚度监测器。
- 直观的触摸屏，用于控制涂层过程和快速数据输入
- 用户友好型软件，可通过网络进行更新。
- 控制涂层速率以获得更精细的晶粒结构。
- 手动或自动定时和厚度溅射。
- 能够记录和绘制涂层参数图表。
- 配备电子快门。
- 易于更换的样品台（旋转台为标准）。
- 两年保修
应用
DST1， Turbo – 泵送台式溅射镀膜机：DST1 型磁控管台式溅射镀膜机是一种紧凑型镀膜系统，能够镀膜半导体、电介质和金属（氧化性和非氧化性）。在快速循环时间内形成具有细晶粒尺寸的均匀薄膜。DST1 配备了一个磁控管阴极，根据要求，阴极的直径可以是 2-4 英寸。
DST1 – 2：DST1-2 配置为溅射镀膜机和纤维碳镀膜机（可选），在一台仪器中具有可互换的头，适用于扫描电子显微镜 （SEM） 样品制备。这种高真空镀膜机提供具有细晶粒尺寸的高质量均匀薄膜，适用于需要高分辨率和高质量表征的样品，例如 FE-SEM、EDS/WDS、TEM 和 EBSD。DST1-2 带有 2 英寸磁控管阴极、带匹配盒的 300 W 射频电源（可选）、80 W 开关直流电源和用于碳蒸发的大电流电源（可选），可用于研究和不同的薄膜应用
DST1 – 4：带有 4 英寸磁控管阴极的大腔室 DST1-4，水冷，非常适合涂覆直径达 15 cm 的大型样品， 或具有相似直径的多个较小试样。无限的溅射时间使其适用于厚层的沉积。该系统配备 800 W 直流电源、300 W 射频电源（可选）和匹配盒。该系统可以在不同的表面上沉积各种材料，用于薄膜应用，如微纳米电子和SEM样品制备
自动化
- 直观的触摸屏界面，用于控制涂层过程和快速数据输入。
- 可以远程更新的用户友好型软件。
- 调整涂层速率以提高晶粒结构质量。
- 半自动到全自动涂层工艺的选项。
- 自动模式下的可重复和可编程溅射作。
- 按时间和厚度手动或自动控制沉积。
- 能够记录和显示涂层参数的图表。
- 存储多种涂层配方，以获得一致的沉积结果。
规格
- 极限真空度：小于 2×10-6 托。
- 控制溅射速率以获得更细的晶粒结构。
- 自动控制溅射功率，不受压力影响。
- 精密质量流量计 （MFC） 用于精细控制真空压力
- 能够记录和绘制涂层参数图。
- 通过 USB 端口将曲线和沉积工艺数据传输到 PC。
- 实用程序：220V- 50HZ- 16A。
- 运输重量 （DST1-2）：28 公斤。
- 运输重量 （DST1-4）：36 千克
选件和附件
台式溅射镀膜机 DST1-170 型具有流动选项和附件：
- 碳纤维蒸发头 （DSCT）
- 碳棒蒸发头 （DSCT）l.
- 行星样品旋转。
- 备用玻璃。
- 溅射靶材。
- 干泵升级
- 溅射靶材
- 碳纤维
清洁真空
真空室为圆柱形耐热玻璃，外径为 300 mm，高为 200 mm （DST1-4） / 外径 170 mm x 高 140 mm （DST1-2）。DST1 配有一个内部安装的涡轮分子泵，由隔膜泵提供支持，该隔膜泵可引入清洁真空，而不会产生普通扩散泵中通常存在的油污染。
