Vac Techniche 台式溅射镀膜机可在非导电或导电性差的样品或设备上对贵金属进行贵金属的薄膜溅射镀膜：金 （Au）、钯 （Pd）、铂 （Pt） 和金/钯 （Au/Pd）。
使用溅射涂层进行样品制备是公认的非导电性和低导电性样品或样品的方法。
DTE 配备了大电流电源和低压（电阻式）热蒸发平台，适用于各种热蒸发应用。
台式磁控溅射镀膜机 （DSR1） 是一种高效的工具，以在全自动系统中提供一致且高度可重复的结果而闻名。DSR1 SEM 镀膜系统采用符合人体工程学的设计和较小的占地面积，易于使用。
DSR1 配备 2 英寸磁控管阴极和 80W 开关直流电源，适用于各种研究和薄膜应用。此外，它可以配备水冷阴极，使其适用于扩展沉积工艺。该型号可容纳最大 4 英寸的基板。
触摸屏控制
DSR1 台式溅射镀膜机配备 7 英寸彩色触摸屏和全自动控制软件。它以数字或曲线形式显示真空和涂层数据。最近 300 种涂层的历史记录被存储起来，并可以通过 USB 端口传输到 PC。
样品架
DSR1 提供各种样品台配置，以满足不同的用户需求。标准样品台可旋转，高度和角度可调，易于更换。此外，还可以选择旋转行星样品台，这是在多孔样品上实现均匀涂层的理想选择。
特征
- 两级旋转泵选项
- 2“ 溅射头
- 碳纤维头升级选项
- 碳杆头升级选项
- 石英晶体厚度监测器。
- 触摸屏控制。
- 快速数据输入。
- 用户友好的软件。
- 精确控制涂布速率。
- Time 和 Thickness 溅射的 Manual Control 选项。
- 手动设置、时间、厚度和溅射功率。
- 自动定时和厚度溅射。
- 旋转平台为标准配置。
- 两年保修
- CE 合规性
应用
自动化
- 直观的触摸屏，用于控制涂层过程和快速数据输入
- 用户友好的软件，可通过网络更新
- 控制涂层速率以获得更精细的晶粒结构
- 半全自动涂布工艺（可选）
- 自动模式下可重复和可编程的溅射工艺
- 手动或自动定时和厚度沉积
- 能够记录和绘制涂层参数图表
- 存储用于可重复沉积的涂层配方
规格
- 能够沉积贵金属
- 能够执行 GLAD 溅射
- 外径 170 mm x 高度 140 mm Pyrex 气瓶室
- 尺寸：45 厘米高 x 46 厘米宽 x 37 厘米深
- 高精度厚度监测器
- 极限真空度：小于 40 mTorr
- 用于氩气的电子泄漏阀
- 阴极的自动温度控制可延长磁体使用寿命
- 通过全自动触摸屏面板高效输入数据
- 记录和绘制涂层参数
- 内置 USB 端口，用于将曲线和沉积数据传输到 PC
- 电源：220V-110V，50/60 Hz，1.5 kW
- 80 W 直流开关电源
- 装运重量（包括真空泵）：42 公斤
选件和附件
DSR1 具有流动选件和附件：
- 碳棒蒸发升级选项
- 碳纤维蒸发升级
- 石英晶体
- 密封垫片
- 等离子清洗机
- 行星样品旋转
- 备用玻璃
- 溅射靶材
