VacTechniche,RF匹配网络,RF-MN Control,Vac Techniche的RF匹配网络具有自动/手动调谐与控制功能，专为与输出阻抗为50欧姆的RF发生器兼容而设计和制造。
RF匹配网络
自动/手动调谐与控制
等离子体腔室、等离子体炬或其他需要应用RF功率的负载通常具有不同于50欧姆的等效阻抗，并且通常伴随电感和电容部分。因此，需要一个系统将等效阻抗转换为发生器阻抗水平，以防止发生器传输的功率反射，保护RF发生器，最大化负载的功率输入，使过程可重复，并在等离子体形成前后提供腔室中所需的场强。
阻抗匹配网络（也称为匹配盒）执行此任务。在正常情况下，匹配网络是为3至35欧姆的阻抗范围构建的。然而，凭借Vac Techniche的技术知识和实践经验，可以为各种负载类型提供匹配网络，如溅射枪、RIE、电容-电感耦合负载以及复杂负载（如螺旋离子源、具有E和H模式的大气ICP、大气等离子体炬以及具有非标准或非常规阻抗范围的负载）。
阻抗匹配盒具有手动和自动功能。
自动阻抗匹配网络
Vac Techniche制造的自动阻抗匹配网络（ATN-xx-BF）为RF发生器在PECVD、HDCVD、溅射和灰化等应用中提供适应性。这些网络使用直流驱动电机执行匹配。Vac Techniche的自动匹配系统将等离子体腔室的阻抗调整为50欧姆，以使最大发生器功率到达腔室。
这些网络在三种独立模式下运行：
- 自动模式：持续补偿等离子体腔室的阻抗变化。
- 手动模式：允许操作员在过程中手动调整匹配电容值。
- 预设模式：操作员可以在开始时自动调整电容值接近完全匹配条件，从而更快完成匹配。
通过控制器系统的前面板和VGA连接，可以调整各种参数并观察其性能。
Vac Techniche ATN-xx-BF阻抗匹配网络的一个重要特点是，对于标准负载，其形成等离子体并完成完全匹配的时间非常短（约2秒）。
匹配网络功率范围：300W、1000W、2000W、3000W、5000W
Vac Techniche手动阻抗匹配网络
Vac Techniche制造的手动阻抗匹配网络（MTC-xx-BF）为RF发生器在PECVD、HDCVD、溅射和灰化等应用中提供匹配。这些网络通过系统前面板上的分级旋钮执行匹配。Vac Techniche的手动匹配系统将等离子体腔室的阻抗调整为50欧姆，以使最大发生器功率到达腔室。
MTC-xx-BF型号的一些优点包括适中的价格、宽范围的阻抗匹配能力，甚至支持定制阻抗范围。此外，其结构中的齿轮箱提高了调整精度。
特点与功能
- 自动匹配宽范围阻抗
- 所有参数的控制/显示
- 完整的远程控制能力
- 三种操作模式：手动、自动和预设
- 电容位置和电容限制警报的数字显示
- 手动模式下使用控制面板中的数字旋转编码器调整电容位置
- 可安装在机架上的控制箱
- 匹配箱可单独安装在腔室附近
- 备用电容组和电感更换标签，以增加负载阻抗范围
- 足够的屏蔽，防止辐射和电磁干扰（EMI）噪声，并采取必要措施保护操作员健康
应用领域
- 半导体生产
- 物理和化学等离子体沉积
- 等离子体蚀刻
- 各种等离子体处理技术
- 加热和熔化废弃电介质
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