VacTechniche,RF等离子体发生器,RFG300,RFG150,RFG600,RFG1000,RFG2000,RFG5000,适用于2英寸磁控溅射和等离子体生成,由Vac Techniche Ltd制造的RF溅射和等离子体发生器是用于工业和实验室沉积、等离子体生成，甚至介电加热和熔化的可靠设备。该设备也是半导体制造系统中最重要的组件之一，用于生产现代计算机和电子设备中的集成电路（IC）和芯片。
Vac Techniche的RF发生器及其阻抗匹配网络构成了一个完整的RF等离子体生成组件。RF发生器根据客户需求设计和制造，频率为27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz或其他频段。
RF等离子体发生器 300W
特征
- 反射功率限制器
- 风冷（DC到RF转换效率大于70%）
- 图形化控制、显示和调节系统，带触摸屏
- 多种保护类型（针对反射功率、过热、过流和过压），能够自动限制传输功率
- 0-5 V输入电压，用于远程控制发生器输出功率；300 W以上型号的效率超过90%
- 模拟输出，用于传输和反射功率值
- 输出功率闭环控制，可随时间稳定调整功率
- 足够的屏蔽，防止辐射和电磁干扰（EMI）噪声，并采取必要措施保护操作员健康
- 可安装在机架上的箱体
技术规格
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 电源 | 220 V (200-240 V), 50 Hz (50-60 Hz) |
| 输出频率 | 13.56 MHz |
| 保护 | 多种类型（反射功率、过热、过流和过压保护），特别是反射功率限制器 |
| 显示 | 带触摸屏的图形显示或数字显示 |
| 远程控制 | 数字RS485 |
| 工作温度 | 10-40°C |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 输出阻抗 | 50Ω（电阻性） |
| 尺寸（cm） | 取决于设备输出 |
| 重量 | 取决于设备输出 |
| 输出连接器 | N – 7/16 |
| 箱体材料 | 铝 |
RF发生器型号
| 型号 | 频率 (MHz) | 功率 (W) | 输出阻抗 (欧姆) | 连接类型 | 前面板显示 | 输出连接器 | 触摸屏 | 输入电源 | 冷却方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| RFG150 | 13.56 | 150 | 50 | 模拟和数字 max485 | LCD | N | 是 | 单相 | 风冷 |
| RFG300 | 13.56 | 300 | 50 | 模拟和数字 max485 | LCD | N | 是 | 单相 | 风冷 |
| RFG600 | 13.56 | 600 | 50 | 模拟和数字 max485 | LCD | N | 是 | 单相 | 风冷 |
| RFG1000 | 13.56 | 1000 | 50 | 模拟和数字 max485 | LCD | N | 是 | 单相 | 风冷 |
| RFG2000 | 13.56 | 2000 | 50 | 模拟和数字 max485 | 7段显示 | N | 否 | 三相 | 风冷 |
| RFG5000 | 13.56 | 5000 | 50 | 模拟和数字 max485 | 7段显示 | 7/16 | 否 | 三相 | 风冷和水冷 |
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