VacTechniche,溅射镀膜机,DST1-170,VAC COAT镀膜机,DST1-170是一款先进的高真空磁控溅射镀膜机，专为桌面设计。这款紧凑型镀膜系统以其多功能性著称，能够高效地镀覆氧化性和非氧化性金属。它非常适合短期沉积需求，能够快速生成均匀的细颗粒薄膜。通过这一创新解决方案，用户可以体验到快速而精确的镀膜周期。
SEM镀膜机 | 溅射镀膜机
SEM/TEM样品制备 | Vac Techniche
DST1-170拥有最小的台式占地面积，提供直流溅射功能，适用于高分辨率SEM和TEM样品制备。
台式溅射镀膜机 | DSR1
DSR1磁控溅射镀膜机是一款高效工具，以其在全自动系统中提供一致且高度可重复的结果而闻名。其符合人体工程学的设计和小巧的占地面积使DSR1 SEM镀膜系统易于使用。
- 通过自动过程控制提供高分辨率镀膜，结果可重复，操作简单。
- DST1-170还可用于光学和薄膜镀膜的一般金属溅射。
- 样品旋转为标准配置，大多数应用支持倾斜和高度调节。
- Vac Techniche还提供一系列更大的涡轮泵溅射镀膜机（DST1-300系列），可选1至3个2英寸磁控管、射频和直流、样品加热等功能。
DST1-170还可配备水冷阴极，适合长时间沉积。该型号的最大基板尺寸为4英寸。
触摸屏控制
DST1-170配备7英寸彩色触摸屏和用户友好型软件，实现无缝控制。其全自动控制功能可轻松调整沉积过程数据，真空和镀膜序列信息以数字或曲线形式显示在屏幕上。此外，它还能方便地保存最近300次镀膜的详细信息，便于快速参考。
样品支架
DST1提供多种样品台配置，以满足不同用户需求。其标准可旋转样品台具有可调节高度和角度，便于定制。用户可以根据需要轻松切换配置。对于多孔样品的均匀镀膜，可选配旋转行星样品台。
全新设计的样品支架
全新设计的4英寸旋转样品支架可增加沉积面积和每次运行的镀膜桩数量（最多可定制为50×1 mm镀膜桩）。
DST1-170清洁真空
脉冲碳纤维升级选项
真空室采用圆柱形Pyrex玻璃制成。DST1-170配备内部安装的90 L/s涡轮分子泵，由6 m³/h两级旋片泵支持。它提供无油污染的清洁真空，避免了普通扩散泵常见的油污染问题。
DST1-170蒸发
脉冲碳纤维升级选项
这款紧凑型台式真空溅射和碳镀膜机专为小型腔室设计，具有出色的脉冲碳纤维蒸发能力。通过使用短脉冲，该工艺在沉积过程中实现了更高精度的控制，并显著减少了与传统碳沉积方法相关的碎屑生成。这一进步不仅提高了镀膜精度，还大大减轻了碎屑带来的挑战，使其成为各领域研究人员和专业人士的宝贵工具。
涡轮泵溅射镀膜机 | DST1-170
特点
- 应用广泛
- 自动化操作
- 高精度控制
规格
- 磁控管阴极直径：2-4英寸（根据需求）
- 最大基板尺寸：4英寸
- 可选水冷阴极，适合长时间沉积
选项和配件
- 旋转行星样品台
- 脉冲碳纤维蒸发升级
- 高电流电源（用于碳蒸发）
DST1系列其他型号
DST1-2
- 配置为溅射镀膜机和纤维碳镀膜机（可选），适用于SEM样品制备。
- 配备2英寸磁控管阴极、300 W射频电源（可选）、80 W直流电源和高电流碳蒸发电源（可选）。
- 适合高分辨率和高质量表征的样品，如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。
DST1-4
- 大腔室设计，配备4英寸水冷磁控管阴极，适合镀覆直径达15厘米的大型样品或多个小型样品。
- 无限溅射时间，适合厚层沉积。
- 配备800 W直流电源和300 W射频电源（可选），适用于微电子、纳米电子和SEM样品制备等薄膜应用。
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