VacTechniche,桌面溅射和碳镀膜机,DSCR,VAC COAT镀膜机

VacTechniche,桌面溅射和碳镀膜机,DSCR,VAC COAT镀膜机,Vac Techniche的DSCR系统已被开发以超越SEM/TEM样品制备的要求。这款紧凑且易于使用的溅射涂层仪可以选择使用现有的泵,也可以配备泵。

DSCR-桌面溅射和碳涂层仪
桌面SEM/TEM系统
SEM/TEM样品制备 Vac Techniche

使用溅射涂层进行样品制备是非导电和低导电样品的公认方法。

DSCR薄膜
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DSCR – 桌面溅射和碳涂层仪
触摸屏控制

DSCR桌面SEM/TEM溅射和碳涂层仪配备7英寸彩色触摸屏和全自动控制与数据输入,即使是没有经验的用户也能操作该系统。
真空、当前电流和沉积信息以数字数据或曲线的形式显示在触摸屏上。系统还会在历史页面中保存最近300次涂层的信息。

样品夹具

DSCR可以配备多种样品台配置,以满足每个用户的特定需求。标准样品台可旋转,并可调节高度和角度,且可以轻松更换以适应不同类型的样品。其他样品台选项包括兼容真空的样品台、加热样品台和多样品夹具台。

DSCR设施
DSCR具备适配碳涂层附件的功能,特别适用于SEM/TEM样品制备。

DSCR是一款溅射涂层仪,配备碳涂层附件,在一个紧凑的仪器中集成,非常适合实验室空间有限的情况。

根据需求,亦可提供碳棒蒸发功能。
真空泵不包括在内,可以根据需要提供。

碳涂层头

DSCR配备了可更换的碳涂层头,能够装载直径为0.8 mm的两根碳纤维。这使得在需要时可以应用更厚的碳薄膜。

DSCR-桌面溅射和碳涂层仪

  • 双级直驱4m³/h旋片泵
  • 170 mm 外径 x 140 mm Pyrex 气缸腔
  • 尺寸:45 cm 高 x 50 cm 宽 x 37 cm 深
  • 2英寸磁控溅射靶阴极
  • 最终真空:低于50毫托
  • 行星样品旋转
  • 热电偶真空计
  • 石英晶体厚度监控,精度为1nm
  • 电控快门
  • 自动排气阀
  • 保存最近进行的300次涂层记录
  • 电源:220V-240V,50/60HZ,10A
  • 80瓦直流开关电源
  • 通过USB端口将曲线和溅射过程数据传输到PC
  • 运输重量:42kg

应用
DSCR桌面溅射涂层仪是扫描电子显微镜(SEM)样品制备的关键组件。它配备旋转泵,确保真空水平低于50毫托,非常适合贵金属溅射涂层和碳纤维蒸发涂层。对于氧化金属的溅射沉积、场发射SEM(FE-SEM)、SEM EDX和TEM应用,建议使用DST1、DSCTDCT型号。

规格

  • 170 mm 外径 x 140 mm Pyrex 气缸腔
  • 尺寸:45 cm 高 x 50 cm 宽 x 37 cm 深
  • 运输重量:42kg
  • 电源:220V-50Hz,10A
  • 80瓦直流开关电源
  • 最终真空:低于50毫托
  • 2英寸磁控溅射靶阴极
  • 电控快门
  • 精密计量阀用于控制真空压力
  • USB端口用于导出和记录过程数据

选项与配件
DSCR桌面溅射和碳涂层仪配有以下选项和配件:

  • 碳棒蒸发头
  • 碳棒高电流电源
  • 石英晶体传感器
  • 行星样品旋转
  • 备用玻璃真空腔
  • 溅射靶
  • 碳纤维
  • 密封垫圈

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