VacTechniche,桌面溅射和碳镀膜机,DSCR,VAC COAT镀膜机,Vac Techniche的DSCR系统已被开发以超越SEM/TEM样品制备的要求。这款紧凑且易于使用的溅射涂层仪可以选择使用现有的泵,也可以配备泵。
DSCR-桌面溅射和碳涂层仪
桌面SEM/TEM系统
SEM/TEM样品制备 Vac Techniche
使用溅射涂层进行样品制备是非导电和低导电样品的公认方法。
DSCR薄膜
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DSCR – 桌面溅射和碳涂层仪
触摸屏控制
DSCR桌面SEM/TEM溅射和碳涂层仪配备7英寸彩色触摸屏和全自动控制与数据输入,即使是没有经验的用户也能操作该系统。
真空、当前电流和沉积信息以数字数据或曲线的形式显示在触摸屏上。系统还会在历史页面中保存最近300次涂层的信息。
样品夹具
DSCR可以配备多种样品台配置,以满足每个用户的特定需求。标准样品台可旋转,并可调节高度和角度,且可以轻松更换以适应不同类型的样品。其他样品台选项包括兼容真空的样品台、加热样品台和多样品夹具台。
DSCR设施
DSCR具备适配碳涂层附件的功能,特别适用于SEM/TEM样品制备。
DSCR是一款溅射涂层仪,配备碳涂层附件,在一个紧凑的仪器中集成,非常适合实验室空间有限的情况。
根据需求,亦可提供碳棒蒸发功能。
真空泵不包括在内,可以根据需要提供。
碳涂层头
DSCR配备了可更换的碳涂层头,能够装载直径为0.8 mm的两根碳纤维。这使得在需要时可以应用更厚的碳薄膜。
DSCR-桌面溅射和碳涂层仪
- 双级直驱4m³/h旋片泵
- 170 mm 外径 x 140 mm Pyrex 气缸腔
- 尺寸:45 cm 高 x 50 cm 宽 x 37 cm 深
- 2英寸磁控溅射靶阴极
- 最终真空:低于50毫托
- 行星样品旋转
- 热电偶真空计
- 石英晶体厚度监控,精度为1nm
- 电控快门
- 自动排气阀
- 保存最近进行的300次涂层记录
- 电源:220V-240V,50/60HZ,10A
- 80瓦直流开关电源
- 通过USB端口将曲线和溅射过程数据传输到PC
- 运输重量:42kg
应用
DSCR桌面溅射涂层仪是扫描电子显微镜(SEM)样品制备的关键组件。它配备旋转泵,确保真空水平低于50毫托,非常适合贵金属溅射涂层和碳纤维蒸发涂层。对于氧化金属的溅射沉积、场发射SEM(FE-SEM)、SEM EDX和TEM应用,建议使用DST1、DSCT和DCT型号。
规格
- 170 mm 外径 x 140 mm Pyrex 气缸腔
- 尺寸:45 cm 高 x 50 cm 宽 x 37 cm 深
- 运输重量:42kg
- 电源:220V-50Hz,10A
- 80瓦直流开关电源
- 最终真空:低于50毫托
- 2英寸磁控溅射靶阴极
- 电控快门
- 精密计量阀用于控制真空压力
- USB端口用于导出和记录过程数据
选项与配件
DSCR桌面溅射和碳涂层仪配有以下选项和配件:
- 碳棒蒸发头
- 碳棒高电流电源
- 石英晶体传感器
- 行星样品旋转
- 备用玻璃真空腔
- 溅射靶
- 碳纤维
- 密封垫圈
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