VacTechniche,手套箱三重热蒸发系统,DTT-GB,Vac Techniche 手套箱三重热源台式镀膜机提供了一种多功能的热蒸发系统,适用于各种形式的源材料,包括线材、绳材、颗粒和粉末,兼容舟/篮和线圈源支架。该系统与手套箱兼容,支持远程控制,并配备电动腔体升降机构。
双磁控靶台式溅射镀膜机可轻松在蒸发和溅射沉积之间切换,用于制备多层涂层。系统配备触摸屏控制。
DTT-GB 手套箱三重热蒸发系统
台式溅射系统
Vac Techniche 真空镀膜系统
为方便使用,系统支持通过 Wi-Fi 远程连接到笔记本电脑,模拟 7 英寸彩色触摸屏控制。全自动控制、数据输入和显示设计,使经验丰富或新手操作员都能轻松使用。控制系统可记录多达 300 个历史处理过程。
样品支架
DCT–台式碳镀膜机
涡轮泵驱动的碳镀膜机提供多种样品台配置,以满足不同用户需求。样品台设计为易于旋转、高度可调且可快速更换。对于多孔样品的均匀镀膜,您可以选择旋转行星样品台作为附加功能。
DTT-GB 蒸发系统
涡轮分子泵
90 L/s 涡轮分子泵直接安装在真空外壳底板上,并由 6 m³/h 两级旋片泵支持,提供清洁真空,避免了普通扩散泵常见的油污染问题。
热蒸发
舟/篮/线圈
台式热蒸发器可配备三个独立的热阻蒸发源。蒸发源支架的良好设计避免了源材料之间的相互污染。源支架的长度可在 5 厘米至 9 厘米范围内调节。
特征
- 多层热蒸发涂层
- 大尺寸腔体
- 高真空涡轮泵(300 L/s)
- 隔膜式支持泵
- 全量程真空计
- 蒸发源(舟/篮/线圈)选择,用于多层薄膜沉积
- 共蒸发形成合金薄膜
- 石英晶体监测系统,实时厚度测量(1 纳米精度)
- 手动模式、功率和时间控制
- 自动定时和厚度沉积
- 易于使用的触摸屏控制面板
- 快速数据输入
- 用户友好
- 可通过网络更新的软件
- 配备电子快门
- 配备旋转样品台
- 500°C 辐射式基板加热器
- 两年保修
规格
- 多舟、篮和线圈安装
- 极限真空:小于 2×10⁻⁶ 托
- 内置处理器记录并绘制镀膜参数图表
- USB 端口用于导出沉积过程数据
- 自动控制:功率和镀膜独立于压力
- 高电流电馈通
- 直流电源,0-100 安培高电流
- 短路保护
- 公用设施:220V-50Hz-16A
- 尺寸:60 厘米(高)× 65 厘米(宽)× 50 厘米(深)
- 运输重量:约 60 公斤
应用
选项
DTT 提供以下选项和配件:
- 高电流电源
- 石英晶体
- 备用玻璃
- 蒸发源(舟/篮/线圈)
- 热源材料

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