VacTechniche,三重热蒸发镀膜机,DTT-Turbo,VAC COAT镀膜机,Vac Techniche三重热蒸发源台式镀膜机提供了一种非常多功能的热蒸发系统，适用于各种形式的源材料，包括线材、绳材、颗粒和粉末，兼容舟/篮和线圈源支架。
DTT-Turbo 三重热蒸发镀膜系统
SEM/TEM镀膜系统 | Vac Techniche真空镀膜系统
控制系统可记录多达300次历史处理过程。
触摸屏控制
DTT-Turbo三重热蒸发镀膜系统配备7英寸彩色触摸屏和全自动控制及数据输入功能，即使是没有经验的用户也能轻松操作。真空、电流和沉积信息以数字数据或曲线的形式显示在触摸屏上。系统还会在历史页面中保存最近300次镀膜的信息。
三重蒸发源
蒸发
三重蒸发源台式热蒸发镀膜机配备蒸发源（舟/篮/线圈）选择系统，是多层膜或合金沉积的理想选择。
DTT蒸发
涡轮分子泵
配备90 L/s涡轮分子泵，直接安装在真空外壳底板上，并由6 m³/h两级旋片泵支持，提供无油污染的清洁真空，避免了普通扩散泵常见的油污染问题。
热蒸发
舟/篮/线圈
台式热蒸发镀膜机可配备三个独立的热阻蒸发源。蒸发源支架的良好设计确保了源材料之间不会相互污染。源支架的长度可在5cm~9cm范围内调节。
DTT-Turbo三重热蒸发镀膜系统
- 特点
- 规格
- 应用
- 选项和配件
多层热镀膜
- 大尺寸腔室
- 高真空涡轮泵（300 L/s）
- 隔膜支持泵
- 全量程真空计
- 蒸发源（舟/篮/线圈）选择，用于多层薄膜沉积
- 共蒸发形成合金薄膜
- 石英晶体监测系统，实时厚度测量（1 nm精度）
- 手动模式、功率、时间控制
- 自动定时和厚度沉积
- 易于使用的触摸屏控制面板
- 快速数据输入
- 用户友好型软件，可通过网络更新
- 配备电子快门
- 配备旋转样品台
- 500°C辐射基板加热器
- 两年保修
规格
- 多舟、篮和线圈安装
- 极限真空：小于2×10⁻⁶ torr
- 内置处理器记录并绘制镀膜参数图表
- USB端口用于导出沉积过程数据
- 自动控制：功率和镀膜独立于压力
- 高电流电馈通
- 直流电源，0-100A高电流
- 短路保护
- 电源：220V-50Hz-16A
- 尺寸：60 cm（高）× 65 cm（宽）× 50 cm（深）
- 运输重量：约60 kg
应用
选项和配件
DTT提供以下选项和配件：
- 高电流电源
- 石英晶体
- 备用玻璃
- 蒸发源（舟/篮/线圈）
- 热蒸发源材料
- 质量流量控制器
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