VAC COAT,碳镀膜机和热蒸发器,DCT-T-300,VAC TECHNICHE碳镀膜机,DCT-T-300 是一款配备涡轮泵的碳镀膜机和热蒸发器，具有大腔室设计，非常适合用于 FE-SEM、EDS/WDS、TEM、EBSD 分析以及薄膜应用的样品制备。这款高真空镀膜机能够提供高质量、均匀的碳膜和金属膜，具有细小的晶粒尺寸，适用于需要高分辨率和高质量表征的样品。DCT-T-300 的腔室直径为 300 毫米，可支持对直径达 15 厘米的样品或多个小样品进行长期沉积。全自动可编程碳镀膜过程使操作简便、精确且可重复。
热蒸发功能支持低熔点材料的向上或向下蒸发，且热源与基板之间的距离可调，是该镀膜机的另一大优势。
DCT-T-300 特点
硬件
- 内置涡轮泵的高真空系统（Leybold）
- 两级旋片式后备泵（隔膜泵或涡旋泵）
- 内部 500 W 开关直流电源，用于碳纤维沉积（可选）
- 外部 1.2 kW 大电流直流电源，适用于金属蒸发和碳棒沉积
- 石英晶体厚度监测器，精度为 1 nm，分辨率为 1 Å
- 自动排气阀
- 样品旋转、高度和倾斜可调（适用于小型样品台）
- 行星式样品台（可选）
- 两个大电流电馈通，用于热源插入
- 可移动热源支架，支持向上或向下沉积配置
- 热头上的 S-Clip 样品支架，用于向上沉积
- 电子快门
- 易于更换的样品台（标配旋转台）
- 两年保修
- 符合 CE 标准
Vac Coat 产品在全球范围内均享有公共责任险和产品责任险，以应对因 Vac Coat 系统导致的财产损失或人身伤害。
自动化
- 直观的触摸屏控制镀膜过程，支持快速数据输入
- 用户友好型软件，可通过网络更新
- 半全自动镀膜过程（可选）
- 自动模式下可重复和可编程的碳镀膜过程
- 脉冲或闪蒸碳纤维镀膜模式（可选）
- 脉冲或斜坡式碳棒镀膜模式（可选）
- 根据设定的厚度值自动进行碳纤维/碳棒/热沉积
- 记录并绘制镀膜参数图表
- 存储镀膜配方以实现可重复沉积
脉冲碳纤维蒸发
这款台式高真空碳镀膜系统能够执行脉冲碳纤维蒸发。短脉冲提供更可控的沉积，并显著减少与传统碳沉积相关的碎屑。
碳棒蒸发（可选）
该台式镀膜系统可配备碳棒头（可选）。在此情况下，需使用外部 0-100 A 大电流电源，而不是专为碳纤维蒸发设计的内部大电流电源。
热蒸发
DCT-T-300 配备大电流电源和低电压（电阻式）热蒸发平台，适用于多种热蒸发应用。该系统可控制多种材料在基板上的热蒸发。单热源支架上可安装不同类型的热蒸发源（舟、篮和线圈）。
DCT-T-300 的清洁真空
真空腔室为圆柱形 Pyrex 玻璃，外径 300 毫米，高度 200 毫米。DCT-T-300 配备内置涡轮分子泵，由 6 m³/h 两级旋片泵（可选）支持，提供无油污染的清洁真空，避免了普通扩散泵常见的油污染问题。
DCT-T-300 触摸屏控制
DCT-T-300 配备 7 英寸彩色触摸屏，采用全自动控制，用户友好型软件可控制和调整沉积过程数据。真空和镀膜序列信息可通过触摸屏以数字数据或曲线形式监控。最近 300 次镀膜信息保存在历史页面中，可通过设备上的 USB 端口传输到 PC。
DCT-T-300 样品台
DCT-T-300 可根据用户需求配备不同的定制样品台配置。标准样品旋转台可旋转，高度和角度可调，且易于更换。行星式旋转样品台是均匀镀覆多孔样品的理想选择（可选）。
对于大样品的沉积，推荐使用 6 英寸可旋转（无倾斜调节）样品台（可选）。
DCT-T-300 应用
- 用于 SEM、FE-SEM、EDX 和 TEM 样品制备的碳膜沉积
- 导电层沉积
- TEM 网格等离子处理以提高亲水性（可选）
- 使用热源支架清洁 TEM 孔径
DCT-T-300 规格
涡轮分子泵（可选不同抽速）：
| 抽速 | 90 l/s | 250 l/s | 350 l/s |
|---|---|---|---|
| 极限真空度 | 8×10⁻⁶ | 3×10⁻⁶ | 8×10⁻⁷ |
- 真空腔室尺寸：300 毫米外径 × 200 毫米高度
- 极限真空度：小于 8 × 10⁻⁶ Torr
- 设备尺寸：580 × 500 × 630 毫米（高 × 宽 × 深）
- 电源：220/110 V，50/60 Hz，2 kW
- 自动控制压力无关的镀膜
- 通过自动泄漏阀精细控制真空压力
- 实时绘制镀膜参数图表
- 通过 USB 端口将镀膜数据图表简单传输到 PC
- 运输重量：46 公斤
选项和配件
- 碳棒蒸发头及电源
- 等离子棒及高压电源，用于等离子处理
- 石英晶体传感器
- 行星式样品旋转台
- 备用圆柱形真空玻璃腔室
- 碳纤维
- 密封垫圈
- 源舟和篮
