VAC COAT,台式热蒸发系统,DTE,电子显微镜研究

VAC COAT,台式热蒸发系统,DTE,电子显微镜研究,DTE 是一款台式热蒸发系统，用于在基板上沉积薄层材料，适用于电子显微镜的研究和分析。DTE 配置为材料蒸发器，适合样品蒸发实验。这款低成本、小腔室、高真空系统非常适合短时间沉积贵金属和氧化金属。

热蒸发功能

DTE 配备大电流电源和低电压（电阻式）热蒸发平台，适用于多种热蒸发应用。该系统可控制多种材料在基板上的热蒸发。单热源支架上可安装不同类型的热蒸发源（舟、篮和线圈）。

系统配备 1.2 kW 大电流直流电源，可在不同表面上沉积蒸发材料的薄层，适用于 SEM 样品制备等应用。

DTE 特点

硬件

• 大电流直流电源（最大 12 V，100 A）
• 170 毫米直径硼硅酸盐-SST 真空腔室
• 内置涡轮泵的高真空系统（Leybold 90 l/s）
• 两级旋片式后备泵（可选隔膜泵或涡旋泵）
• 石英晶体监测系统，实时测量厚度（精度 1 nm）
• 电子快门
• 两个大电流电馈通，用于热源插入
• 可移动热源支架，支持向上或向下沉积配置
• 自动排气阀
• 全量程真空计
• 腔室引线上的 S-Clip 样品支架
• 基板上的 2 英寸旋转样品台（可选）
• 样品旋转、高度和倾斜可调（适用于可选的 2 英寸样品台）
• 两年保修
• 符合 CE 标准

Vac Coat 产品在全球范围内均享有公共责任险和产品责任险，以应对因 Vac Coat 系统导致的财产损失或人身伤害。

自动化

• 直观的触摸屏控制抽真空过程和设备操作
• 用户友好型软件，可通过网络更新
• 半自动蒸发过程控制
• 基于设定厚度的可控薄膜沉积
• 记录并绘制镀膜参数图表

扫描电子显微镜（SEM）样品制备

清洁真空

DTE 配备内置 90 L/s 涡轮分子泵，由 6 m³/h 两级旋片泵（可选）支持。

触摸屏控制

DTE 配备 7 英寸彩色触摸屏，采用用户友好型软件控制沉积过程数据。真空和镀膜序列信息可通过触摸屏以数字数据或曲线形式观察，最近 300 次镀膜信息保存在历史页面中。

样品台配置

DTE 沉积系统支持向上和向下金属蒸发配置。

• 向上沉积：材料装入舟源，样品固定在腔室引线的 S-Clip 上，便于操作。
• 向下沉积：少量所需材料装入篮中，基板上配备旋转样品台（可选）。

DTE 操作要求

DTE 是一款小腔室沉积系统，具有紧凑、轻便、快速抽真空和低成本的特点。但由于其腔室较小，使用时需注意以下事项：

• DTE 适合短期薄膜镀膜，长期厚层沉积可能损坏腔室。
• 该设备适合蒸发温度较低的源材料沉积。
• 旋转基板支架的最大样品直径不得超过 2 英寸。

如果这些镀膜条件不符合您的需求，可以尝试我们的 DTT 型号，其具有 300 毫米直径的大腔室和三个热源。

选项和配件

• 石英晶体传感器
• 备用玻璃腔室
• 密封垫圈
• 源舟和篮

DTE 应用

• 金属薄膜
• 纳米和微电子
• 太阳能电池应用
• 薄膜传感器
• 用于 SEM 和 FE-SEM 样品制备的细晶结构沉积
• 用于 SEM 样品制备的闪蒸模式碳纤维蒸发

规格

• 极限真空度：小于 8×10⁻⁶ Torr
• 真空腔室尺寸：170 毫米外径 × 140 毫米高度
• 快速循环沉积过程
• 实时绘制镀膜参数图表
• 通过 USB 端口将沉积过程数据传输到 PC
• 0-12 V，0-100 A 大电流直流电源
• 电源：220 V-110 V，50/60 Hz，1.2 kW
• 设备尺寸：500 高 × 450 宽 × 450 深毫米（不含机架）
• 运输重量：30 公斤（不含后备泵）