VAC COAT,双靶涡轮泵溅射涂层机,DST2-TG,VacTechniche涂层机,DST2-TG是带热蒸发器的双靶涡轮泵溅射涂层机，专为手套箱使用设计，是一款多功能真空涂层系统，将热蒸发器和溅射涂层机结合在一个紧凑的桌面系统中。该高真空系统适用于多种材料的沉积。双磁控溅射靶桌面涂层机可轻松切换蒸发和溅射沉积，用于多层涂层的制备，无需断开真空。
手套箱系统为敏感材料提供了受保护的环境，防止空气、湿气和不必要的反应。DST2-TG高真空涂层系统与手套箱配合使用，提供了有利于高纯度薄膜沉积的真空环境，同时在惰性气体气氛下确保了安全的基材处理。
DST2-TG磁控溅射桌面涂层机是一款高精度的半自动/全自动真空涂层系统，配备大尺寸腔体（300 mm直径）和两个2英寸直径水冷阴极，非常适合长期沉积。该系统是溅射、碳纤维和金属蒸发的单一平台。磁控溅射桌面涂层机可以溅射半导体、电介质和金属靶材。溅射阴极和热蒸发舟可一起安装或交替使用，共有三种沉积源可用（在订购时选择）。通过利用碳纤维（丝）也可以实现碳沉积。
此手套箱用溅射涂层机和热蒸发器可配备以下可选设施：
- 带自动调节匹配箱的射频电源，最小化射频溅射过程中的反射功率
- 用于在薄膜沉积前去除基材表面有机物的辉光放电等离子体
DST2-TG特点
硬件
- 两级旋片式备份泵
- 内置90 L/s涡轮分子泵高真空系统
- 全范围真空计
- 电动升降臂，可上下移动真空腔体
- 两个2英寸水冷溅射阴极
- 两个石英晶体传感器（1 nm精度），实时厚度测量
- 两个精密质量流量计（MFC），用于精确控制真空和压力
- 电子快门
- 阴极选择电机
- 样品旋转、升降、倾斜可调
- 两年保修
- CE认证
- Vac Coat产品全球范围内提供公共及产品责任保险，若因Vac Coat系统造成任何财产损失或人身伤害，均有保障。
清洁真空 真空腔体为圆柱形Pyrex玻璃，直径300 mm，高度200-250 mm（可选）。DST2-TG配备内部安装的90 L/s涡轮分子泵，配有6 m³/h的两级旋片泵。配备手套箱的DST2-TG提供极为可控的腔体环境，适合高纯度薄膜沉积，并确保在惰性气体气氛下进行沉积前后样品的安全清洁处理。
触摸屏控制 DST2-TG配备7英寸彩色触摸屏面板，界面友好，可用于控制和调整沉积过程数据。根据订购的型号，面板窗口可以放置在手套箱外部，或通过Wi-Fi连接到PC，轻松控制设备。真空和涂层顺序信息可以通过触摸屏显示为数字数据或曲线，并且最后300次涂层的信息会保存到历史页面。
DST2-TG手套箱集成配置
DST2-TG-On-Deck： 仪器外壳（腔体和连接件）完全放置在手套箱内。手套箱后侧设置有KF40穿透口，用于电源、真空、水、气体连接和电气连接。面板窗口可通过Wi-Fi连接至PC进行涂层过程管理和数据传输。
DST2-TG-In-Deck： 腔体放置在手套箱底部，并通过专门设计的腔体底座密封。无需特殊的穿透口用于电气、真空、水和气体连接。面板窗口可在手套箱外部使用USB端口进行数据和图表传输，管理涂层过程。
DST2-TG详细特点 外观、厚度传感器、真空设备、过程、服务与信息、机架尺寸：
- 外形尺寸：705 × 600 × 670 mm（H × W × D）（腔体打开时高度为825 mm）
- 机架尺寸：
- 配RF、DC、高电流：850 × 560 × 710 mm（H × W × D）
- 不配RF：450 × 560 × 710 mm（H × W × D）
- 重量：80-100 kg（仪器外壳和机架）
- 玻璃腔体尺寸：Pyrex圆柱形，直径300 mm，高度200/250 mm（可选），厚度7 mm
- 手套箱集成：
- On-Deck型号：最多可在手套箱后侧安装12个ISOKF40穿透口，用于电源（DC、RF和高电流）、真空泵软管、水冷、氩气/反应气体及电气连接（如全部配件已订购）。
- In-Deck型号：从手套箱地板上切出一个矩形（470mm×400mm），以便安装腔体底座。腔体底座上的密封垫圈由厂家提供，确保腔体内部达到高真空级别。订购手套箱前应确认其图纸。
显示屏：7英寸对角线（16:9）800×480高彩色图形TFT-LCD
用户界面：彩色触摸屏
数据传输：USB端口/Wi-Fi连接（视型号而定）– 用于将数据和图表传输到PC
靶材尺寸：1-3个碟片，直径2英寸，厚度0.1~6 mm（优选小于3 mm厚度），铁磁靶材的厚度应小于0.5 mm。长期高功率溅射过程中，靶材需要带铁磁背板，厚度为0.1-0.2 mm。
热蒸发舟/篮子尺寸：长度4-7 cm
样品夹具尺寸：最大直径3″
腔体盖：铝制，腔体和盖的上下运动由电动升降臂控制
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