台式溅射涂布机-DSR1
扫描电子显微镜涂布机 | 溅射涂布机
扫描电镜/透射电镜样品制备 Vac Techniche
Vac Techniche台式溅射涂布机用于在非导电或导电性差的样品或器件上进行贵金属薄膜溅射涂层，如金（Au）、钯（Pd）、铂（Pt）和金/钯（Au/Pd）合金。
使用溅射涂布进行样品制备是针对非导电和低导电性样品的公认方法。
DTE配备了高电流电源和低电压（电阻性）热蒸发平台，适用于各种热蒸发应用。
台式溅射涂布机 | DSR1
VacTechniche DSR1被设计用于超越扫描电子显微镜（SEM）/透射电子显微镜（TEM）样品制备的要求。该紧凑且易于使用的溅射涂布机提供使用现有泵的选项，或者可以配备泵。如果使用外部泵，系统中的计算机会控制泵或泵装置。
台式磁控溅射涂布机（DSR1） 是一款高效的工具，以其在全自动系统中提供一致且高度可重复的结果而闻名。其符合人体工程学的设计和小巧的占地面积使DSR1 SEM涂层系统易于使用。
DSR1-170 配备了一个专门设计用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备的溅射涂布机。
DSR1配备了2英寸磁控阴极和80W开关直流电源，适用于各种研究和薄膜应用。此外，它还可以配备水冷阴极，适合用于长时间的沉积过程。此型号支持最大4英寸的基板。
触摸屏控制
DSR1台式溅射涂布机配有7英寸彩色触摸屏和全自动控制软件。它能以数字方式或曲线显示真空和涂层数据。最后300次涂层的历史记录会被保存，并可以通过USB端口转移到PC上。
样品支架
DSR1提供多种样品台配置，适应不同用户的需求。标准样品台可旋转，且具有可调高度和角度，方便更换。此外，还提供旋转行星样品台，特别适用于在多孔样品上实现均匀涂层。
更多信息：
对于氧化金属的溅射涂布，请参见 DST1-300（涡轮泵台式溅射涂布机）。
特征：
- 双级旋转泵选项
- 2英寸溅射头
- 碳纤维头升级选项
- 碳棒头升级选项
- 石英晶体厚度监测仪
- 触摸屏控制
- 快速数据输入
- 用户友好的软件
- 精确控制涂层速率
- 时间与厚度溅射的手动控制选项
- 手动设置：时间、厚度和溅射功率
- 自动定时与厚度溅射
- 标配旋转平台
- 两年保修
- 符合CE认证
应用：
- SEM和TEM样品准备
- 薄膜沉积涂层
- 金属溅射沉积
- 光学涂层
- 样品溅射涂层
- 贵金属溅射
- 多样品涂层
自动化：
- 直观的触摸屏控制涂层过程，并支持快速数据输入
- 用户友好的软件，可通过网络进行更新
- 控制涂层速率，以实现更精细的晶粒结构
- 半全自动涂层过程（可选）
- 在自动模式下可重复且可编程的溅射过程
- 手动或自动定时和厚度沉积
- 能够记录和绘制涂层参数图表
- 存储涂层配方以实现可重复的沉积
规格：
- 能够沉积贵金属
- 能够执行GLAD溅射
- 170 mm外径 x 140 mm高度的Pyrex玻璃圆筒腔室
- 外形尺寸：高度45 cm x 宽度46 cm x 深度37 cm
- 高精度厚度监测仪
- 极限真空：低于40 mTorr
- 电子泄漏阀用于氩气
- 自动温控系统，延长磁体寿命
- 通过全自动触摸屏面板高效数据输入
- 记录并绘制涂层参数图表
- 内置USB端口用于将曲线和沉积数据传输到PC
- 电源：220V-110V，50/60 Hz，1.5 kW
- 80瓦DC开关电源
- 运送重量（包括真空泵）：42 kg
可选项和配件：
- 碳棒蒸发升级选项
- 碳纤维蒸发升级选项
- 石英晶体
- 密封垫圈
- 等离子清洁器
- 行星样品旋转
- 备用玻璃
- 溅射靶
DSR1 薄膜适用性
该薄膜适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。桌面磁控溅射镀膜仪作为一款高生产力的仪器，凭借其全自动系统，始终能够提供可靠且可重复的结果。其符合人体工程学设计，紧凑的外形确保了操作的便捷性和易用性。
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