VacTechniche,反应离子刻蚀,RIE,SEM镀膜机,溅射镀膜机,反应离子刻蚀：RIE,SEM镀膜机 | 溅射镀膜机 | SEM/TEM样品制备 | Vac Techniche,MRIE03VT-a 台式RIE系统由“Vac Techniche Ltd”制造，具有以下规格组合，是一款独特的产品。
腔室尺寸：
- 气体注入数量：4个质量流量控制器（MFC），支持不同工艺设计
- Ar：100 SCCM
- N2：50 SCCM
- O2：100 SCCM
- SF6：50 SCCM
反应离子刻蚀：RIE
- 工艺设计能力：支持多达40种不同的工艺序列
- 可保存5种不同的工艺参数（配方）
- 高达300W、13.56MHz射频等离子源，配备快速稳定的自动阻抗匹配
- 紧凑设计和小尺寸
- 系统外部尺寸：
- 腔室内部尺寸：
- 样品输入和最大尺寸：
- 冷却样品支架，适用于样品尺寸从……到……
DSR1-170溅射镀膜机
DSR1-170是一款专门用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备的溅射镀膜机。
DSR1配备2英寸磁控管阴极和80W开关直流电源，适用于各种研究和薄膜应用。此外，它还可配备水冷阴极，适合长时间沉积工艺。该型号可容纳最大4英寸的基板。
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