VacTechniche,涡轮泵溅射和碳镀膜机,DSCT,VAC COAT镀膜机,Vac Techniche DSCT专为满足SEM/TEM样品制备的高要求而设计。这款紧凑且易于使用的溅射镀膜机配备内置涡轮分子泵，可使用自带的支持真空泵或用户自备的泵，所有操作均由处理器控制器控制。溅射镀膜是制备非导电和低导电样品公认的方法，该系统也适用于光学镀膜。
DSCT-涡轮泵溅射和碳镀膜机
台式溅射系统 | Vac Techniche真空镀膜系统
涡轮泵台式溅射和碳镀膜机
触摸屏控制
DSCT-涡轮泵溅射和碳镀膜机配备7英寸彩色触摸屏和全自动控制及数据输入功能，即使是没有经验的用户也能轻松操作。真空、电流和沉积信息以数字数据或曲线的形式显示在触摸屏上。系统还会在历史页面中保存最近300次镀膜的信息。
样品支架
DSCT-涡轮泵溅射和碳镀膜机提供多种样品台配置，以满足不同用户需求。样品台设计为易于旋转、高度可调且可快速更换。对于多孔样品的均匀镀膜，可选配旋转行星样品台作为附加功能。
DSCT蒸发
脉冲碳纤维
DSCT的紧凑腔室配备脉冲碳纤维蒸发功能，通过使用短脉冲增强沉积控制。这种创新方法不仅确保了更精确的沉积，还显著减少了与传统碳沉积方法相关的碎屑生成。
真空碳镀膜机样品支架
全新设计的4英寸旋转样品支架可增加沉积面积和每次运行的镀膜桩数量（最多可定制为50×1 mm镀膜桩）。
碳镀膜附件
DSCT可配备碳镀膜附件，非常适合SEM/TEM样品制备。使用独立附件将碳镀膜与溅射头分开，避免交叉污染问题。碳棒蒸发也可根据需求提供。
DSCT-涡轮泵溅射和碳镀膜机
更多详情
- 特点
- 规格
- 应用
- 选项和配件
2英寸溅射头
- 碳纤维头
- 碳棒头升级选项
- 石英晶体厚度监测器
- 触摸屏控制
- 快速数据输入
- 用户友好型软件
- 精确控制镀膜速率
- 手动控制选项（时间和厚度溅射）
- 手动设置（时间、厚度和溅射功率）
- 自动定时和厚度溅射
- 两年保修
- CE认证
规格
- 控制面板：7英寸触摸屏，支持编程、操作和参数显示
- 单一直线磁控管阴极：适用于2英寸靶材
- 碳纤维头：易于更换，用于碳纤维蒸发
- 高电流脉冲电源：用于碳蒸发（24V-100A）
- 薄膜厚度监测器：可编程，精度1 nm
- 热电偶真空计：显示范围0.001-1 mbar
- 真空腔室：Pyrex圆柱腔室，外径300 mm，高度200 mm，厚度7 mm
- 直流电源：0-100 mA，用于溅射
- 样品支架：电动样品支架
- 电子泄漏阀：1 MFC，0-100 sccm，用于氩气和反应气体
- 快门：电子快门
- 主体：金属立方体，30×50×50 cm
- 涡轮泵：90 L/s（Leybold）
- 支持泵：4 m³/h两级旋片泵
- 真空计：皮拉尼和彭宁组合真空计（Leybold）
- 排气阀：1/4英寸电动阀
- 包装：带轮箱
- 保修：所有部件24个月保修（泵除外），Leybold部件12个月保修
应用
- SEM和TEM样品制备
- 薄膜沉积镀膜
- 碳镀膜
- 金属溅射沉积
- 光学镀膜
- 样品溅射镀膜
- 金溅射
- 金属溅射
- 多样品镀膜
选项和配件
DSCT提供以下选项和配件：
- 碳镀膜头及100A电源（用于碳棒蒸发，非全自动）
- 石英晶体
- 行星样品旋转台
- 备用玻璃
- 金靶（Au），直径2英寸，厚度0.15 mm
- 银靶（Ag），直径2英寸，厚度0.3 mm
- 铂靶（Pt），直径2英寸，厚度0.15 mm
- 升级至干泵系统（Leybold隔膜泵，1.4 m³/h支持泵）
- 溅射靶材
- 碳纤维
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