VAC COAT,涡轮泵碳镀膜仪,DCT-300,VAC TECHNICHE镀膜仪,DCT-300 是一款涡轮泵碳镀膜仪，配有大尺寸腔体，非常适合 FE-SEM、EDS/WDS、TEM、EBSD 分析以及薄膜应用的样品制备。这款高真空镀膜仪可提供高质量、均匀的碳膜，具有精细的颗粒尺寸，适用于需要高分辨率和高质量表征的样品。
DCT-300 配备直径为 300 毫米的圆柱形腔体，能够对直径最大可达 15 厘米的大样品或多个小样品进行长时间沉积。全自动可编程的碳镀膜过程使得操作简便、精准且可重复。
根据客户需求，可以在不同的腔头上安装碳纤维（线状）或碳棒，通过闪光、脉冲或渐变模式（仅碳棒可用）进行手动或自动沉积。
DCT-300 特性
硬件
- 内置涡轮泵 90 L/s（Leybold），实现高真空
- 二级旋片背压泵（可选使用隔膜泵或螺杆泵）
- 500 W 开关直流电源，用于碳纤维沉积
- 1.2 kW 高电流直流电源，用于碳棒沉积（可选）
- 精度为 1 nm、分辨率为 1 Å 的石英晶体厚度监控器
- 自动排气阀
- 样品旋转、升降及倾斜可调（适用于小样品 holder）
- 行星样品 holder（可选）
- 电子快门
- 易于更换的样品座（旋转座为标准配置）
- 提供两年保修
- 符合 CE 标准
- Vac Coat 产品在全球范围内提供公共和产品责任保险，以防 Vac Coat 系统造成任何财产损失或人身伤害。
自动化
- 直观触摸屏控制镀膜过程，快速数据输入
- 用户友好软件，可通过网络更新
- 半自动镀膜过程（可选）
- 自动模式下的可编程和可重复的镀膜过程
- 脉冲或闪光碳纤维镀膜模式
- 脉冲或渐变碳棒镀膜模式（可选）
- 根据设定的厚度值自动进行碳纤维/碳棒沉积
- 记录并绘制镀膜参数图
- 存储镀膜配方，确保镀膜过程的可重复性
脉冲碳纤维蒸发
- 该台台式真空碳镀膜仪能够执行脉冲碳纤维蒸发。短脉冲提供更受控的沉积过程，并显著减少与传统碳沉积相关的颗粒杂质。
碳棒蒸发（可选）
- DCT-300 台式高真空碳镀膜仪可配备碳棒头（可选）。这种配置下需要使用外部 0-100 A 高电流电源，而不是用于碳纤维蒸发的内置高电流电源。
清洁真空
- 真空腔体采用圆柱形 Pyrex 玻璃。DCT-300 配备了内置 90 L/s 涡轮分子泵，后置 6 m³/h 二级旋片背压泵（可选）。它能够引入无油污染的清洁真空，避免普通扩散泵存在的油污染问题。
DCT-300 触摸屏控制
- DCT-300 配备 7 英寸彩色触摸屏，采用全自动控制，搭配用户友好的软件来控制和调整镀膜过程数据。真空和镀膜序列信息可以以数字数据或曲线形式显示在触摸屏上。最后 300 次镀膜的信息会保存在历史记录页面，并可以通过 USB 端口传输到计算机。
样品 holder 配置
- DCT-300 可以根据用户需求配备不同的样品座配置。样品座可旋转、可调高度和角度，且易于更换。行星样品旋转座是对多孔样品进行均匀镀膜的理想选择（可选）。
- 对于大样品的镀膜，推荐使用 6 英寸可旋转的样品座（不可调倾斜角度，选配）。
DCT-300 应用
- 为 SEM、FE-SEM、EDX 和 TEM 样品制备提供精细结构的碳膜沉积
- 导电层
- TEM 网格等离子体处理，改善亲水性（可选）
技术规格
- 全范围真空计（Leybold）
- 300 mm 外径 × 200 mm 高度真空腔体
- 最低真空：小于 8 x 10^-6 Torr
- 外形尺寸：580 × 500 × 630 mm（高 × 宽 × 深）
- 公用设施：220/110 V，50/60 Hz – 2 kW
- 自动控制的压力独立镀膜
- 通过自动泄漏阀精细控制真空压力
- 实时绘制镀膜参数图
- 可通过 USB 端口简单地将镀膜数据图传输到计算机
- 运送重量：46 kg
选项与配件
- 碳棒头和电源
- 等离子体棒和高电压电源，用于等离子体处理
- 石英晶体传感器
- 行星样品旋转
- 备用圆柱形真空玻璃腔体
- 碳纤维
- 密封垫圈
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