英国VacTechniche,RF 电源,射频等离子发生器 ,用于溅射和等离子体产生的射频发生器 100w、200w、300w、600w 至 5000w

英国VacTechniche,RF 电源,射频等离子发生器 ,用于溅射和等离子体产生的射频发生器 100w、200w、300w、600w 至 5000w

Vac Techniche Ltd 制造的用于溅射和等离子体发生器的射频发生器是用于工业和实验室沉积、等离子体生成甚至介电加热和熔化的可靠设备。该器件也是半导体制造系统中最重要的组件之一，用于生产现代计算机和电子设备中的集成电路 （IC） 和芯片。Vac Techniche 射频发生器及其阻抗匹配网络构成了一个完整的射频等离子体发生组件。

射频发生器根据客户设计和制造 27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz 或其他频段。

为什么是 13.56 MHz？

该频率是工业、科学和医疗 （ISM） 无线电频段中最常用的频率之一。该频段用于一般用途，因此允许进行高功率活动，而不会对周围的电信系统造成任何干扰。该频段使用功率从几毫瓦到几百千瓦不等的发电机。

Vac Techniche 射频 （RF） 发生器

这些发生器的设计是射频电子设备、高级功率放大器保护、闭环控制和高安全系数的组合。

简单的制造和维修程序以及非常高的效率是该产品的一些独特品质。其他功能包括防止产生电磁干扰的安全性、连续运行能力、易于操作和控制、声明产生的错误类型、传输和反射功率的显示、用于控制发电机输出功率的 0-5 V 输入电压（可选）、发射和反射功率值的模拟输出（可选）、限制反射功率的能力， 以及压缩空气冷却系统。

Vac Techniche 生产的该设备型号从 100 W 到 15 kW 不等，带有半导体元件，最高型号为 100 kW，带有基于真空管的放大器。

特征

• 反射功率限制器
• 风冷（DC 到 RF 转换效率大于 70%）
• 带触摸屏的图形控制、显示和调节系统
• 各种保护类型（反射功率、过热、过流和过压），能够自动限制发射功率
• 用于远程控制发电机输出功率的 0-5 V 输入电压;大于 300 W 的型号的效率超过 90%
• 传输功率和反射功率值的模拟输出
• 输出功率闭环控制，随时间稳定调整后的功率
• 足够的屏蔽以防止辐射和 EMI 噪声，并采取必要措施来保护操作员的健康
• 机架式包装盒