台式热蒸发器可配备三个独立的热阻热蒸发源。蒸发源支架的良好设计不会造成源材料相互污染。源架的长度可在 5cm~9cm 范围内调整。

DTT-Turbo 三重热蒸发仪

特征：

• 多层热涂层

• 大尺寸腔室

• 高真空涡轮分子泵 300 l/s

• 隔膜前级泵

• 全系列真空计

• 用于多层薄膜沉积的蒸发源（舟/篮/线圈）选择

• Co – 蒸发形成合金膜

• 用于实时厚度测量的石英晶体监测系统（精度为 1 nm）

• 手动模式、电源、时间控制

• 自动定时和厚度沉积

• 易于使用的触摸屏控制面板

• 快速数据输入

• 用户友好

• 可通过网络更新的软件

• 配备电子快门

• 配备旋转样品架

• 500 °C 辐照基板加热器

• 两年保修