Vac Techniche DSCR 的开发超越了 SEM/TEM 样品制备的要求。 紧凑且易于使用的溅射镀膜机,可以选择使用现有泵或随附泵。



DSCR-台式溅射和碳镀膜机
两级,直接驱动 4m3/h, 旋片泵
170 mm 外径 x 140 mm Pyrex 气瓶室
尺寸:45 厘米 x 50 厘米 x 37 厘米 深
2 英寸磁控管阴极
极限真空度:小于 50 毫托
行星样品旋转
热电偶真空计
精度为 1nm 的石英晶体厚度监测器
电动控制百叶窗
自动排气阀
保存最后进行的 300 次涂层
实用程序:220V-240V,50/60HZ-10A
80 W 直流开关电源
通过 USB 端口将曲线和溅射工艺数据传输到 PC
运输重量: 42Kg