德国VACOM 机械馈通

通常需要将机械运动传递到真空系统中。很少有基本原理来执行所需的运动,例如在不带磁铁或带磁铁的情况下进行旋转或平移工作:

弹性体和波纹管密封
弹性体密封系统适用于高压应用,而特高压工艺则需要边缘焊接波纹管密封设计。波纹管密封的穿通孔可实现最高的精度和可重复性。另外,这些系统可以完全没有磁场组装,这是许多应用领域的基本标准。

磁耦合
旋转或线性运动是由大气侧的机构通过磁耦合传递到真空中的轴的。一体式外壳仅对真空开放。坚固的磁铁可确保牢固的耦合,从而可以传递高扭矩和高轴向载荷。

磁流体密封的旋转馈通
具有低蒸气压的磁流体用于此目的。经过特殊设计的极靴和强磁体将磁流体保持为液体O形圈的形状。外壳将旋转馈通内部的磁场束缚在一起,因此只有微不足道的杂散磁场会保留在外部。

苛刻的应用程序通常需要传输复杂的运动序列。该任务由机械手执行,这些机械手可以彼此独立地进行不同的旋转和线性运动。另外,操纵器可以配备用于样品加热或冷却的系统。


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