法兰系统
真空组件是真空系统的一部分,对于安装真空管线(例如法兰,密封件,管(弯头,三通,十字形等),腔室,电气和光学馈通装置以及移动元件)必不可少。真空技术中的应用对材料选择和这些组件的制造都提出了很高的要求。
法兰系统 | 小法兰 | 夹紧法兰 | ConFlat ®兼容 | 快速CF | ||||
短期 | KF(ISO-KF) | ISO(ISO-K,ISO-F) | 碳纤维 | QCF | ||||
公称直径[mm] | DN10至DN50 | DN63至DN630 | DN10至DN400 | DN16至DN100 | ||||
标准 | DIN 28403 / ISO 2861 | DIN 28404 / ISO1609 | ISO 3669-2 | ISO 3669-2 |
存在基于不同法兰系统的各种应用领域的连接标准。因此,VACOM的真空组件符合所有基本标准。许多组件都可用于洁净室。这些真空组件的特点是低颗粒污染和产生。对于特高压中的应用,XHV和UCV要求并经过验证的排气速度低。
此外,我们专门根据您的要求制造真空组件